| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 减摩耐磨镀层的发展及应用 | 第9-10页 |
| 1.3 非晶C膜的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.1 C原子的价键种类 | 第10页 |
| 1.3.2 非晶C膜的分类 | 第10-11页 |
| 1.3.3 GLC的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3.4 CrN/C镀层的研究现状 | 第12页 |
| 1.4 CrN/C镀层的沉积与生长过程 | 第12-14页 |
| 1.5 CrN/C镀层的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.5.1 多弧离子镀技术 | 第14-15页 |
| 1.5.2 磁控溅射离子镀技术 | 第15页 |
| 1.5.3 微弧离子镀技术 | 第15-16页 |
| 1.6 本课题研究内容及技术路线 | 第16-19页 |
| 2 实验设备及实验方法 | 第19-27页 |
| 2.1 实验设备及实验材料 | 第19-20页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第19页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第19-20页 |
| 2.2 实验方案及参数 | 第20-22页 |
| 2.2.1 不同C靶功率密度下CrN/C镀层的制备 | 第20-21页 |
| 2.2.2 不同Cr靶功率密度下CrN/C镀层的制备 | 第21-22页 |
| 2.2.3 不同N_2气流量下CrN/C镀层的制备 | 第22页 |
| 2.3 镀层的检测表征方法 | 第22-27页 |
| 2.3.1 镀层结构和成分表征 | 第22-23页 |
| 2.3.2 镀层的性能测试 | 第23-27页 |
| 3 C靶功率密度对CrN/C镀层组织结构和性能的影响 | 第27-45页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 C靶功率密度对CrN/C镀层厚度、表面和截面形貌的影响 | 第27-29页 |
| 3.3 C靶功率密度对CrN/C镀层相结构的影响 | 第29页 |
| 3.4 C靶功率密度对CrN/C镀层价键结构的影响 | 第29-33页 |
| 3.5 C靶功率密度对CrN/C镀层微观组织的影响 | 第33-35页 |
| 3.6 C靶功率密度对CrN/C镀层表面粗糙度的影响 | 第35-36页 |
| 3.7 C靶功率密度对CrN/C镀层的力学和摩擦磨损性能的影响 | 第36-42页 |
| 3.7.1 C靶功率密度对CrN/C镀层硬度和内应力的影响 | 第36-38页 |
| 3.7.2 C靶功率密度对CrN/C镀层膜基结合强度的影响 | 第38-40页 |
| 3.7.3 C靶功率密度对CrN/C镀层摩擦系数的影响 | 第40-41页 |
| 3.7.4 C靶功率密度对CrN/C镀层磨损率的影响 | 第41-42页 |
| 3.8 本章小结 | 第42-45页 |
| 4 不同Cr靶功率密度对CrN/C镀层组织结构和性能的影响 | 第45-61页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 Cr靶功率密度对CrN/C镀层厚度、表面和截面形貌的影响 | 第45-47页 |
| 4.3 Cr靶功率密度对CrN/C镀层相结构的影响 | 第47页 |
| 4.4 Cr靶功率密度对CrN/C镀层价键结构的影响 | 第47-51页 |
| 4.5 Cr靶功率密度对CrN/C镀层微观组织的影响 | 第51-53页 |
| 4.6 Cr靶功率密度对CrN/C镀层表面粗糙度的影响 | 第53-54页 |
| 4.7 Cr靶功率密度对CrN/C镀层的力学和摩擦磨损性能的影响 | 第54-60页 |
| 4.7.1 Cr靶功率密度对CrN/C镀层硬度和内应力的影响 | 第54-56页 |
| 4.7.2 Cr靶功率密度对CrN/C镀层膜基结合强度的影响 | 第56-58页 |
| 4.7.3 Cr靶功率密度对CrN/C镀层摩擦系数的影响 | 第58页 |
| 4.7.4 Cr靶功率密度对CrN/C镀层磨损率的影响 | 第58-60页 |
| 4.8 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 不同N_2气流量对CrN/C镀层组织结构和性能的影响 | 第61-77页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 N_2气流量对CrN/C镀层厚度、表面和截面形貌的影响 | 第61-63页 |
| 5.3 N_2气流量对CrN/C镀层相结构的影响 | 第63页 |
| 5.4 N_2气流量对CrN/C镀层价键结构的影响 | 第63-67页 |
| 5.5 N_2气流量对CrN/C镀层微观组织的影响 | 第67页 |
| 5.6 N_2气流量对CrN/C镀层表面粗糙度的影响 | 第67-68页 |
| 5.7 N_2气流量对CrN/C镀层的力学和摩擦磨损性能的影响 | 第68-74页 |
| 5.7.1 N_2气流量对CrN/C镀层硬度和内应力的影响 | 第68-70页 |
| 5.7.2 N_2气流量对CrN/C镀层膜基结合强度的影响 | 第70-72页 |
| 5.7.3 N_2气流量对CrN/C镀层摩擦系数的影响 | 第72-73页 |
| 5.7.4 N_2气流量对CrN/C镀层磨损率的影响 | 第73-74页 |
| 5.8 本章小结 | 第74-77页 |
| 6 结论 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
