| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 符号说明 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.2 论文的结构安排 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 亚波长光栅与半导体光探测器集成的研究进展 | 第20-46页 |
| 2.1 应用于光通信中的亚波长光栅 | 第20-33页 |
| 2.1.1 亚波长光栅反射镜 | 第21-24页 |
| 2.1.2 亚波长光栅偏振分束器 | 第24-28页 |
| 2.1.3 亚波长光栅功分器 | 第28-30页 |
| 2.1.4 亚波长光栅耦合器 | 第30-33页 |
| 2.2 亚波长光栅与光探测器集成的研究进展 | 第33-39页 |
| 2.2.1 亚波长光栅与PIN光探测器的集成 | 第33-36页 |
| 2.2.2 亚波长光栅与RCE光探测器的集成 | 第36-38页 |
| 2.2.3 亚波长光栅与其它类型光探测器的集成 | 第38-39页 |
| 2.3 本章小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-46页 |
| 第三章 一维非周期亚波长光栅结构的研究 | 第46-69页 |
| 3.1 一维亚波长光栅理论方法 | 第46-51页 |
| 3.1.1 严格耦合波理论方法 | 第46-48页 |
| 3.1.2 有限元理论方法 | 第48-50页 |
| 3.1.3 一维亚波长高折射率差光栅的波前相位控制原理 | 第50-51页 |
| 3.2 具有大角度光束偏转功能的亚波长高折射率差光栅反射镜的研究 | 第51-57页 |
| 3.2.1 HCG实现光束偏转的相位分布 | 第52-53页 |
| 3.2.2 具有光束偏转功能HCG反射镜的设计方法 | 第53页 |
| 3.2.3 具有光束偏转功能HCG反射镜的结构设计 | 第53-55页 |
| 3.2.4 仿真结果分析 | 第55-57页 |
| 3.3 具有光束会聚功能的条形亚波长高折射率差光栅反射镜的研究 | 第57-62页 |
| 3.3.1 条形HCG实现光束会聚的相位分布 | 第57-58页 |
| 3.3.2 具有光束会聚功能条形HCG反射镜的设计方法 | 第58-59页 |
| 3.3.3 具有光束会聚功能条形HCG反射镜的结构设计 | 第59-61页 |
| 3.3.4 仿真结果分析 | 第61-62页 |
| 3.4 具有光束会聚功能的亚波长光栅偏振分束器的研究 | 第62-66页 |
| 3.4.1 亚波长光栅偏振分束器的结构设计 | 第62-64页 |
| 3.4.2 仿真结果分析 | 第64-66页 |
| 3.5 本章小节 | 第66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 第四章 二维非周期亚波长光栅结构的研究 | 第69-82页 |
| 4.1 具有光束会聚功能的同心环亚波长高折射率差光栅反射镜的研究 | 第69-71页 |
| 4.1.1 具有光束会聚功能的同心环HCG反射镜的结构模型 | 第69-70页 |
| 4.1.2 具有光束会聚功能的同心环HCG反射镜的设计方法 | 第70页 |
| 4.1.3 仿真结果分析 | 第70-71页 |
| 4.2 具有光束会聚功能的块状亚波长高折射率差光栅功分器的研究 | 第71-79页 |
| 4.2.1 二维亚波长光栅严格耦合波理论 | 第71-73页 |
| 4.2.2 二维亚波长高折射率差光栅的波前相位控制原理 | 第73-74页 |
| 4.2.3 二维块状HCG功分器的结构模型 | 第74-75页 |
| 4.2.4 二维块状HCG功分器的设计方法 | 第75-77页 |
| 4.2.5 仿真结果分析 | 第77-79页 |
| 4.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 第五章 基于SOI的亚波长光栅结构的制备及实验测试 | 第82-99页 |
| 5.1 亚波长光栅的制备工艺 | 第82-84页 |
| 5.1.1 电子束曝光 | 第82-83页 |
| 5.1.2 干法刻蚀 | 第83页 |
| 5.1.3 亚波长光栅的制备工艺流程 | 第83-84页 |
| 5.2 具有光束偏转功能的亚波长光栅的制备及实验测试 | 第84-87页 |
| 5.2.1 具有光束偏转功能的HCG反射镜的制备 | 第84页 |
| 5.2.2 实验测试系统 | 第84-85页 |
| 5.2.3 实验结果分析 | 第85-87页 |
| 5.3 具有光束会聚功能的条形亚波长光栅的制备及实验测试 | 第87-91页 |
| 5.3.1 具有光束会聚功能的条形HCG反射镜的制备 | 第87页 |
| 5.3.2 实验测试系统 | 第87-88页 |
| 5.3.3 实验结果分析 | 第88-91页 |
| 5.4 具有光束会聚功能的同心环亚波长光栅的制备与实验测试 | 第91-94页 |
| 5.4.1 具有光束会聚功能的同心环HCG反射镜的制备 | 第91-92页 |
| 5.4.2 实验测试系统 | 第92-93页 |
| 5.4.3 实验结果分析 | 第93-94页 |
| 5.5 二维非周期块状亚波长高折射率差光栅的制备与实验测试 | 第94-97页 |
| 5.5.1 二维非周期块状HCG功分器的制备 | 第94-95页 |
| 5.5.2 实验测试系统 | 第95-96页 |
| 5.5.3 实验结果分析 | 第96-97页 |
| 5.6 本章小结 | 第97页 |
| 参考文献 | 第97-99页 |
| 第六章 亚波长光栅反射镜与半导体光探测器集成的研究 | 第99-113页 |
| 6.1 PIN光探测器的原理 | 第99-101页 |
| 6.2 基于反射镜的PIN光探测器的原理 | 第101-102页 |
| 6.3 基于亚波长光栅反射镜的PIN光探测器的结构设计 | 第102-103页 |
| 6.4 基于亚波长光栅反射镜的PIN光探测器的制备 | 第103-105页 |
| 6.4.1 PIN光探测器的制备 | 第103-104页 |
| 6.4.2 苯并环丁烯(BCB)树脂键合技术 | 第104-105页 |
| 6.5 基于亚波长光栅反射镜的PIN光探测器的实验测试 | 第105-110页 |
| 6.5.1 响应度及量子效率测试 | 第105-109页 |
| 6.5.2 响应带宽测试 | 第109-110页 |
| 6.6 本章小节 | 第110页 |
| 参考文献 | 第110-113页 |
| 第七章 亚波长光栅功分器与半导体光探测器阵列集成的研究 | 第113-119页 |
| 7.1 基于亚波长光栅功分器的PIN光探测器阵列的结构设计 | 第113-114页 |
| 7.2 基于亚波长光栅功分器的PIN光探测器阵列的制备 | 第114-115页 |
| 7.3 基于亚波长光栅功分器的PIN光探测器阵列的实验测试 | 第115-118页 |
| 7.3.1 直流响应测试 | 第115-116页 |
| 7.3.2 交流响应测试 | 第116-118页 |
| 7.4 本章小结 | 第118页 |
| 参考文献 | 第118-119页 |
| 第八章 总结与展望 | 第119-122页 |
| 8.1 总结 | 第119-120页 |
| 8.2 展望 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文和申请的专利 | 第124-125页 |
| 学术论文 | 第124-125页 |
| 申请专利 | 第125页 |
