| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 国内外研究现状分析 | 第13-14页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第2章 AFM 刻划深度理论模型的建立 | 第15-26页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 模型建立的基本原理 | 第15页 |
| 2.3 单线单次刻划 V 型沟槽深度模型的建立 | 第15-17页 |
| 2.4 单线重复刻划 V 型沟槽深度模型的建立 | 第17-23页 |
| 2.5 AFM 二维结构的刻划深度理论模型的建立与临界加工深度 | 第23-25页 |
| 2.5.1 二维结构的刻划深度理论模型的建立 | 第23-25页 |
| 2.5.2 理论模型的临界加工深度 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 重复刻划 V 型沟槽深度实验及理论模型修正 | 第26-45页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 AFM 重复刻划 V 型沟槽实验 | 第26-30页 |
| 3.2.1 实验条件 | 第26-27页 |
| 3.2.2 AFM 重复刻划 V 型沟槽实验原理及参数设置 | 第27-30页 |
| 3.3 AFM 重复刻划 V 型沟槽深度分析 | 第30-35页 |
| 3.3.1 AFM 重复刻划 V 型沟槽实验数据分析 | 第30-31页 |
| 3.3.2 AFM 重复刻划 V 型沟槽理论模型的修正 | 第31-35页 |
| 3.4 AFM 定深度同载荷最少刻划次数的研究 | 第35-39页 |
| 3.4.1 实验原理及参数设置 | 第35-37页 |
| 3.4.2 定深度 V 型沟槽最少刻划次数实验结果分析 | 第37-39页 |
| 3.5 有原始深度的 V 型沟槽二次定深度刻划研究 | 第39-43页 |
| 3.5.1 实验原理及参数设置 | 第39-40页 |
| 3.5.2 有原始深度的 V 型沟槽二次定深度刻划实验结果分析 | 第40-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 二维结构的 AFM 刻划深度实验研究 | 第45-59页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 二维结构的 AFM 刻划实验 | 第45-51页 |
| 4.2.1 实验条件 | 第45-47页 |
| 4.2.2 针尖载荷对微沟槽深度的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.3 进给量对微沟槽几何尺寸的影响 | 第48-51页 |
| 4.3 针尖载荷和进给量对微沟槽表面质量的影响 | 第51-54页 |
| 4.3.1 实验原理及参数设置 | 第51页 |
| 4.3.2 实验结果分析 | 第51-54页 |
| 4.4 完整正弦结构的三维加工实验研究 | 第54-58页 |
| 4.4.1 实验原理及参数设置 | 第54-55页 |
| 4.4.2 三维结构加工实验及结果分析 | 第55-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
