| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 光子晶体微腔传感器的研究进展 | 第11-12页 |
| 1.3 论文主要工作及研究成果 | 第12页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 光子晶体微腔传感器概述 | 第14-24页 |
| 2.1 光子晶体的基本概念和特性 | 第14-17页 |
| 2.1.1 光子晶体简介 | 第14页 |
| 2.1.2 光子晶体分类 | 第14-16页 |
| 2.1.3 光子晶体的基本特性 | 第16-17页 |
| 2.2 光子晶体微腔的构成与耦合 | 第17-21页 |
| 2.2.1 光子晶体点缺陷微腔 | 第18-20页 |
| 2.2.2 光子晶体微腔与光子晶体波导的耦合 | 第20-21页 |
| 2.3 光子晶体微腔传感器简介 | 第21页 |
| 2.4 光子晶体的理论分析方法 | 第21-23页 |
| 2.4.1 平面波展开法 | 第22页 |
| 2.4.2 时域有限差分法 | 第22-23页 |
| 2.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 基于边腔耦合和级联硅波导的传感器阵列性能分析 | 第24-32页 |
| 3.1 基于级联边腔的传感器阵列设计 | 第24-28页 |
| 3.1.1 光子晶体边腔的设计 | 第24-26页 |
| 3.1.2 级联边腔传感器阵列的设计 | 第26-28页 |
| 3.2 基于级联边腔的传感器阵列的性能分析 | 第28-31页 |
| 3.2.1 光子晶体微腔传感器在生化传感中的实现原理 | 第28-29页 |
| 3.2.2 基于边腔耦合和级联硅波导的传感器阵列在生化传感中的性能分析 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 基于光子晶体斜型微腔的多维微机械传感器性能分析 | 第32-47页 |
| 4.1 光子晶体斜型微腔压力传感器原理 | 第32-34页 |
| 4.2 光子晶体斜型微腔的结构设计 | 第34-38页 |
| 4.3 斜型微腔在二维压力传感器中的应用 | 第38-41页 |
| 4.3.1 压力与光子晶体结构形变关系的分析 | 第38-40页 |
| 4.3.2 压力与微腔光学参数变化关系的分析 | 第40-41页 |
| 4.4 斜型微腔在三维微机械传感器中的应用 | 第41-46页 |
| 4.4.1 机械力与光子晶体结构形变关系的分析 | 第43-45页 |
| 4.4.2 机械力与微腔光学参数变化关系的分析 | 第45-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 串并联集成光子晶体微腔传感器阵列设计与研究 | 第47-53页 |
| 5.1 基于斜型微腔的串并联光子晶体传感器阵列结构设计 | 第47-50页 |
| 5.1.1 基于斜型微腔的Y型并联光子晶体结构设计 | 第47-49页 |
| 5.1.2 Y型并联光子晶体结构基础上的串联集成设计 | 第49-50页 |
| 5.2 基于斜型微腔的串并联传感器的性能分析 | 第50-52页 |
| 5.2.1 单一微腔生化传感器性能分析 | 第51页 |
| 5.2.2 多微腔生化传感器阵列性能分析 | 第51-52页 |
| 5.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 全文总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文与专利 | 第60页 |
