微推进器的制备及其性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 微推进器系统介绍 | 第13-14页 |
| 1.3 电激励推进系统研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3.1 电激励推进系统概述 | 第14-16页 |
| 1.3.2 国外电推进系统进展 | 第16-19页 |
| 1.3.3 国内电激励推进系统进展 | 第19页 |
| 1.4 激光推进系统研究进展 | 第19-21页 |
| 1.4.1 激光微推进系统概述 | 第19-20页 |
| 1.4.2 激光推进系统国内外研究进展 | 第20-21页 |
| 1.5 MEMS微推进系统研究进展 | 第21-23页 |
| 1.5.1 MEMS推进技术概述 | 第21-22页 |
| 1.5.2 MEMS微推进系统研究进展 | 第22-23页 |
| 1.6 研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 微推进器设计方案研究 | 第24-30页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 微推进器放电原理分析 | 第24-26页 |
| 2.3 推进器基底材料选择 | 第26-28页 |
| 2.4 具体结构方案设计 | 第28-29页 |
| 2.4.1 MHPT的结构设计 | 第28页 |
| 2.4.2 FEPT的结构设计 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 微推进器制备工艺的研究 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 MEMS工艺概述 | 第30-31页 |
| 3.3 微推进器制备工艺设计 | 第31-34页 |
| 3.3.1 MHPT的工艺设计 | 第31-32页 |
| 3.3.2 FEPT的工艺设计 | 第32-34页 |
| 3.4 微推进器工艺介绍 | 第34-43页 |
| 3.4.1 MHPT工艺介绍 | 第34-41页 |
| 3.4.2 FEPT 工艺介绍 | 第41-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 微推进器的电学性能研究 | 第44-63页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 微推进器性能测试系统介绍 | 第44-46页 |
| 4.2.1 MHPT的测试系统设计 | 第44-45页 |
| 4.2.2 FEPT测试系统设计 | 第45-46页 |
| 4.3 微推进MHPT的性能研究 | 第46-52页 |
| 4.3.1 直流放电过程分析 | 第46-47页 |
| 4.3.2 MHPT启辉点火过程分析 | 第47-49页 |
| 4.3.3 不同阵列数目的放电性能研究 | 第49-50页 |
| 4.3.4 MHPT的尺寸与压强分析 | 第50-51页 |
| 4.3.5 MHPT击穿特性分析 | 第51-52页 |
| 4.4 MHPT的优化仿真分析 | 第52-61页 |
| 4.4.1 DBD型微推进器结构原理分析 | 第53-54页 |
| 4.4.2 DBD型微推进器仿真模型的建立 | 第54-56页 |
| 4.4.3 DBD型微推进器仿真结果分析 | 第56-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 微推力器推力的测试 | 第63-69页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 微推力测试的现状 | 第63-64页 |
| 5.3 钟摆型微推力测试的结构设计 | 第64-65页 |
| 5.4 微推力测试台理论模型建立 | 第65-66页 |
| 5.5 微推力测试台的动态补偿 | 第66-68页 |
| 5.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 未来研究展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
