嵌入式存储器的修复在ATE上的测试解决方案
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 存储器修复技术的现状 | 第16-17页 |
| 1.3 本文内容安排 | 第17-19页 |
| 第二章 嵌入式存储器的测试原理 | 第19-31页 |
| 2.1 嵌入式存储器故障分析 | 第19-24页 |
| 2.1.1 故障类型 | 第19-22页 |
| 2.1.2 算法分析 | 第22-24页 |
| 2.2 嵌入式存储器的内建自测试 | 第24-29页 |
| 2.2.1 测试方法 | 第24-26页 |
| 2.2.2 基本结构 | 第26-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 嵌入式存储器的修复设计 | 第31-43页 |
| 3.1 嵌入式存储器修复理论 | 第31-33页 |
| 3.2 传统修复方式 | 第33-37页 |
| 3.2.1 实现过程 | 第33-34页 |
| 3.2.2 优化方式 | 第34-37页 |
| 3.3 新形式修复方式 | 第37-42页 |
| 3.3.1 GSER修复系统的优势 | 第37-38页 |
| 3.3.2 GSER的基本部分 | 第38-39页 |
| 3.3.3 GSER修复原理 | 第39-41页 |
| 3.3.4 GSER修复的实现方法 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 嵌入式存储器修复的测试流程设计 | 第43-65页 |
| 4.1 控制接.与指令 | 第43-45页 |
| 4.2 测试流程模块设计 | 第45-57页 |
| 4.2.1 初化模块设计 | 第45-46页 |
| 4.2.2 内建自测试模块设计 | 第46-49页 |
| 4.2.3 判断是否具有修复能力的模块设计 | 第49-50页 |
| 4.2.4 判断是否可修复的模块设计 | 第50-52页 |
| 4.2.5 读取TS高位有效位模块设计 | 第52-54页 |
| 4.2.6 熔断模块设计 | 第54-57页 |
| 4.2.7 验证熔断结果的模块设计 | 第57页 |
| 4.3 测试时间的优化 | 第57-63页 |
| 4.3.1 优化部分的结构 | 第58-59页 |
| 4.3.2 优化的设计方式 | 第59-63页 |
| 4.4 整体测试流程解决方案 | 第63-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 整体解决方案在ATE上实现与验证 | 第65-77页 |
| 5.1 被测晶圆简介 | 第65页 |
| 5.2 测试平台 | 第65-68页 |
| 5.2.1 自动测试机的硬件结构 | 第66-67页 |
| 5.2.2 自动测试机的软件结构 | 第67-68页 |
| 5.3 测试平台上测试程序的配置 | 第68-69页 |
| 5.4 修复测试结果及分析 | 第69-76页 |
| 5.4.1 各个流程模块结果及分析 | 第69-72页 |
| 5.4.2 整体流程方案结果及分析 | 第72-75页 |
| 5.4.3 测试时间优化结果分析 | 第75-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简介 | 第85-86页 |
