致谢 | 第5-7页 |
摘要 | 第7-9页 |
Abstract | 第9-11页 |
第1章 绪论 | 第17-39页 |
1.1 精密表面缺陷检测研究的背景及意义 | 第17-20页 |
1.2 国内外精密表面缺陷检测技术研究进展 | 第20-35页 |
1.2.1 精密表面缺陷标准现状 | 第20-30页 |
1.2.2 精密表面缺陷检测技术研究现状 | 第30-35页 |
1.3 本论文的主要研究内容及完成的工作 | 第35-37页 |
1.4 本论文的主要创新点 | 第37-39页 |
第2章 精密表面缺陷散射成像检测原理及方案 | 第39-47页 |
2.1 光学显微散射暗场成像检测技术 | 第39-41页 |
2.2 双倍率检测方案与子孔径图像拼接技术 | 第41-43页 |
2.3 标准缺陷数字化标定技术 | 第43-45页 |
2.4 本章小结 | 第45-47页 |
第3章 基于有限时域差分算法的表面散射分析 | 第47-71页 |
3.1 基于FDTD算法的表面散射分析仿真原理 | 第48-57页 |
3.1.1 基于FDTD算法的表面散射近场仿真原理 | 第48-52页 |
3.1.2 散射近远场及远场成像分布变换 | 第52-55页 |
3.1.3 宽光谱斜入射仿真 | 第55-57页 |
3.2 基于FDTD算法的表面缺陷散射成像仿真结果 | 第57-68页 |
3.2.1 表面缺陷散射仿真模型参数 | 第57-59页 |
3.2.2 表面缺陷散射仿真分析 | 第59-68页 |
3.3 本章小结 | 第68-71页 |
第4章 精密表面缺陷显微散射暗场成像系统标定技术 | 第71-91页 |
4.1 畸变引入误差分析 | 第71-74页 |
4.1.1 畸变引入视场测量误差分析 | 第72-73页 |
4.1.2 畸变引入的拼接误差分析 | 第73-74页 |
4.2 基于显微散射暗场成像的精密表面缺陷检测系统数学模型 | 第74-81页 |
4.2.1 精密表面缺陷显微散射暗场成像检测系统标定的理想数学模型 | 第75-77页 |
4.2.2 精密表面缺陷显微散射暗场成像检测系统标定的实际数学模型 | 第77-81页 |
4.2.3 需要标定的参数 | 第81页 |
4.3 显微散射暗场成像系统标定及畸变校正原理与方法 | 第81-86页 |
4.3.1 基于显微散射暗场成像系统的相机标定原理 | 第81-83页 |
4.3.2 基于显微散射暗场成像系统的相机标定方法 | 第83-86页 |
4.4 标定精度与畸变校正评价方法与误差分析 | 第86-88页 |
4.4.1 相对畸变量 | 第86-87页 |
4.4.2 最小二乘法相关系数 | 第87-88页 |
4.4.3 标准离差率 | 第88页 |
4.5 本章小结 | 第88-91页 |
第5章 精密表面缺陷散射成像检测逆向识别研究 | 第91-105页 |
5.1 精密表面缺陷散射成像检测多维参数逆向识别基本原理 | 第92-96页 |
5.2 表面缺陷多维参数逆向识别技术理论 | 第96-99页 |
5.2.1 散射成像系统点扩散函数 | 第96-98页 |
5.2.2 相关度判据及评价函数 | 第98-99页 |
5.3 基于缺陷多维参数的逆向识别算法计算机仿真 | 第99-102页 |
5.3.1 逆向识别算法对缺陷宽度的识别 | 第99-101页 |
5.3.2 逆向识别算法对缺陷深度的识别 | 第101-102页 |
5.4 本章小结 | 第102-105页 |
第6章 精密表面缺陷散射成像检测实验及数据分析 | 第105-121页 |
6.1 精密表面缺陷散射成像检测系统实验布局 | 第105-107页 |
6.2 精密表面缺陷散射成像检测系统标定实验结果和分析 | 第107-112页 |
6.3 基于缺陷多维参数的逆向识别实验结果和分析 | 第112-119页 |
6.4 本章小结 | 第119-121页 |
第7章 总结与展望 | 第121-127页 |
7.1 本论文完成工作总结 | 第121-123页 |
7.2 本论文主要创新点 | 第123-124页 |
7.3 下一步工作展望 | 第124-127页 |
参考文献 | 第127-137页 |
作者简历及攻读博士学位期间主要的研究成果 | 第137-139页 |