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精密表面缺陷检测散射成像理论建模及系统分析研究

致谢第5-7页
摘要第7-9页
Abstract第9-11页
第1章 绪论第17-39页
    1.1 精密表面缺陷检测研究的背景及意义第17-20页
    1.2 国内外精密表面缺陷检测技术研究进展第20-35页
        1.2.1 精密表面缺陷标准现状第20-30页
        1.2.2 精密表面缺陷检测技术研究现状第30-35页
    1.3 本论文的主要研究内容及完成的工作第35-37页
    1.4 本论文的主要创新点第37-39页
第2章 精密表面缺陷散射成像检测原理及方案第39-47页
    2.1 光学显微散射暗场成像检测技术第39-41页
    2.2 双倍率检测方案与子孔径图像拼接技术第41-43页
    2.3 标准缺陷数字化标定技术第43-45页
    2.4 本章小结第45-47页
第3章 基于有限时域差分算法的表面散射分析第47-71页
    3.1 基于FDTD算法的表面散射分析仿真原理第48-57页
        3.1.1 基于FDTD算法的表面散射近场仿真原理第48-52页
        3.1.2 散射近远场及远场成像分布变换第52-55页
        3.1.3 宽光谱斜入射仿真第55-57页
    3.2 基于FDTD算法的表面缺陷散射成像仿真结果第57-68页
        3.2.1 表面缺陷散射仿真模型参数第57-59页
        3.2.2 表面缺陷散射仿真分析第59-68页
    3.3 本章小结第68-71页
第4章 精密表面缺陷显微散射暗场成像系统标定技术第71-91页
    4.1 畸变引入误差分析第71-74页
        4.1.1 畸变引入视场测量误差分析第72-73页
        4.1.2 畸变引入的拼接误差分析第73-74页
    4.2 基于显微散射暗场成像的精密表面缺陷检测系统数学模型第74-81页
        4.2.1 精密表面缺陷显微散射暗场成像检测系统标定的理想数学模型第75-77页
        4.2.2 精密表面缺陷显微散射暗场成像检测系统标定的实际数学模型第77-81页
        4.2.3 需要标定的参数第81页
    4.3 显微散射暗场成像系统标定及畸变校正原理与方法第81-86页
        4.3.1 基于显微散射暗场成像系统的相机标定原理第81-83页
        4.3.2 基于显微散射暗场成像系统的相机标定方法第83-86页
    4.4 标定精度与畸变校正评价方法与误差分析第86-88页
        4.4.1 相对畸变量第86-87页
        4.4.2 最小二乘法相关系数第87-88页
        4.4.3 标准离差率第88页
    4.5 本章小结第88-91页
第5章 精密表面缺陷散射成像检测逆向识别研究第91-105页
    5.1 精密表面缺陷散射成像检测多维参数逆向识别基本原理第92-96页
    5.2 表面缺陷多维参数逆向识别技术理论第96-99页
        5.2.1 散射成像系统点扩散函数第96-98页
        5.2.2 相关度判据及评价函数第98-99页
    5.3 基于缺陷多维参数的逆向识别算法计算机仿真第99-102页
        5.3.1 逆向识别算法对缺陷宽度的识别第99-101页
        5.3.2 逆向识别算法对缺陷深度的识别第101-102页
    5.4 本章小结第102-105页
第6章 精密表面缺陷散射成像检测实验及数据分析第105-121页
    6.1 精密表面缺陷散射成像检测系统实验布局第105-107页
    6.2 精密表面缺陷散射成像检测系统标定实验结果和分析第107-112页
    6.3 基于缺陷多维参数的逆向识别实验结果和分析第112-119页
    6.4 本章小结第119-121页
第7章 总结与展望第121-127页
    7.1 本论文完成工作总结第121-123页
    7.2 本论文主要创新点第123-124页
    7.3 下一步工作展望第124-127页
参考文献第127-137页
作者简历及攻读博士学位期间主要的研究成果第137-139页

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