| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题背景及来源 | 第10-11页 |
| 1.2 激光分束DOE研究进展 | 第11-17页 |
| 1.2.1 二元相位型Dammann分束DOE | 第11-14页 |
| 1.2.2 连续相位型分束DOE | 第14-16页 |
| 1.2.3 多台阶相位型分束DOE | 第16-17页 |
| 1.3 本文的研究内容及章节安排 | 第17-20页 |
| 第2章 多台阶分束DOE设计理论 | 第20-32页 |
| 2.1 多台阶分束DOE的工作原理 | 第20-23页 |
| 2.2 多台阶分束DOE的设计方法 | 第23-24页 |
| 2.3 多台阶分束DOE标量衍射理论 | 第24-26页 |
| 2.4 多台阶分束DOE严格耦合波分析理论 | 第26-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 DOE设计相关数值算法 | 第32-39页 |
| 3.1 算法简介 | 第32-33页 |
| 3.2 相位恢复 GS 算法原理 | 第33-35页 |
| 3.3 遗传算法原理 | 第35-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 亚波长多台阶结构大角度分束DOE的设计 | 第39-49页 |
| 4.1 标量衍射理论和GS算法设计多台阶分束DOE | 第39-42页 |
| 4.2 标量设计结果的矢量分析 | 第42-43页 |
| 4.3 矢量优化与仿真验证 | 第43-46页 |
| 4.4 实验加工方案设计 | 第46-47页 |
| 4.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 多台阶分束DOE设计结果分析 | 第49-57页 |
| 5.1 误差分析 | 第49-53页 |
| 5.1.1 误差种类定义 | 第49-50页 |
| 5.1.2 误差对亚波长多台阶分束DOE衍射性能的影响 | 第50-53页 |
| 5.2 亚波长多台阶分束DOE工作带宽分析 | 第53-54页 |
| 5.3 标量衍射理论适用性分析 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第6章 结束语 | 第57-60页 |
| 6.1 论文主要工作 | 第57-58页 |
| 6.2 下一步需要解决的问题 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第64页 |