直链型巯基醇类缓蚀剂缓蚀机理的理论研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 缓蚀剂的研究现状 | 第7-12页 |
| 1.2.1 缓蚀剂概述 | 第7-8页 |
| 1.2.2 有机缓蚀剂作用机理 | 第8页 |
| 1.2.3 含巯基类缓蚀剂 | 第8-9页 |
| 1.2.4 缓蚀剂的理论研究 | 第9-12页 |
| 1.2.4.1 缓蚀剂的量子化学研究 | 第9-10页 |
| 1.2.4.2 缓蚀剂的分子动力学研究 | 第10-12页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第12-14页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第12-13页 |
| 1.3.2 技术路线 | 第13-14页 |
| 第2章 理论基础 | 第14-22页 |
| 2.1 量子化学方法 | 第14-18页 |
| 2.1.1 半经验法 | 第15页 |
| 2.1.2 从头算法 | 第15页 |
| 2.1.3 密度泛函理论 | 第15-17页 |
| 2.1.4 基组 | 第17-18页 |
| 2.2 分子模拟方法 | 第18-21页 |
| 2.2.1 分子力学方法 | 第18-19页 |
| 2.2.2 分子动力学模拟 | 第19-21页 |
| 2.3 模拟软件 | 第21-22页 |
| 2.3.1 GAUSSIAN 09 | 第21页 |
| 2.3.2 MATERIALS STUDIO | 第21页 |
| 2.3.3 MULTIWFN | 第21-22页 |
| 第3章 巯基醇类缓蚀剂的构效关系 | 第22-34页 |
| 3.1 计算方法选择 | 第22页 |
| 3.2 量子化学参数 | 第22-24页 |
| 3.2.1 前线分子轨道理论 | 第22-23页 |
| 3.2.2 全局反应活性 | 第23-24页 |
| 3.2.3 局部反应活性 | 第24页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第24-33页 |
| 3.3.1 分子结构优化 | 第24-26页 |
| 3.3.2 前线轨道及全局活性 | 第26-27页 |
| 3.3.3 反应活性位点分析 | 第27-29页 |
| 3.3.4 分子构效关系分析 | 第29-31页 |
| 3.3.5 相关性分析 | 第31-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 巯基醇类缓蚀剂的缓蚀机理 | 第34-50页 |
| 4.1 模拟方法 | 第34-35页 |
| 4.1.1 吸附模型构建 | 第34-35页 |
| 4.1.2 分子力学模拟 | 第35页 |
| 4.1.3 分子动力学模拟 | 第35页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第35-49页 |
| 4.2.1 溶剂对巯基醇分子吸附行为的影响 | 第35-44页 |
| 4.2.1.1 吸附平衡 | 第37-39页 |
| 4.2.1.2 吸附类型 | 第39-42页 |
| 4.2.1.3 吸附强度 | 第42-44页 |
| 4.2.2 浓度对巯基醇分子吸附行为的影响 | 第44-47页 |
| 4.2.2.1 吸附膜形态分析 | 第44-45页 |
| 4.2.2.2 吸附膜致密性分析 | 第45-46页 |
| 4.2.2.3 吸附膜疏水性分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 链长对疏基醇分子吸附行为的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.3.1 吸附膜形态分析 | 第47页 |
| 4.2.3.2 吸附膜致密性分析 | 第47-48页 |
| 4.2.3.3 吸附膜疏水性分析 | 第48-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 结论与建议 | 第50-52页 |
| 5.1 结论 | 第50-51页 |
| 5.2 建议 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |
