| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-46页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 Ni-Ti基合金的马氏体相变 | 第13-26页 |
| 1.2.1 马氏体相变 | 第13-14页 |
| 1.2.2 马氏体相变的表征方法 | 第14-17页 |
| 1.2.3 影响马氏体相变的因素 | 第17-26页 |
| 1.3 影响Ni-Ti基合金的力学性能的因素 | 第26-30页 |
| 1.3.1 成分及组元 | 第26-27页 |
| 1.3.2 变形 | 第27-28页 |
| 1.3.3 热处理工艺 | 第28-29页 |
| 1.3.4 特征尺寸 | 第29-30页 |
| 1.4 Ti/Ni多层膜的研究现状 | 第30-33页 |
| 1.5 本文主要研究内容和意义 | 第33-35页 |
| 参考文献 | 第35-46页 |
| 第二章 薄膜的制备及分析测试方法 | 第46-56页 |
| 2.1 引言 | 第46-47页 |
| 2.2 Ni-Ti基合金薄膜的制备工艺 | 第47-49页 |
| 2.2.1 薄膜的溅射沉积 | 第47-49页 |
| 2.2.2 薄膜的晶化处理 | 第49页 |
| 2.3 薄膜的微结构表征方法 | 第49-51页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第49-50页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜分析 | 第50页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜分析 | 第50-51页 |
| 2.4 薄膜相变行为表征 | 第51页 |
| 2.5 薄膜力学性能测试方法 | 第51-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第三章 L2_1相-Ni_(43)Ti_(38)Al_(19)合金薄膜力学性能的尺寸效应 | 第56-70页 |
| 3.1 三元Ni_(43)Ti_(38)Al_(19)合金薄膜的制备 | 第57页 |
| 3.2 三元Ni_(43)Ti_(38)Al_(19)合金薄膜的结构表征 | 第57-60页 |
| 3.3 三元Ni_(43)Ti_(38)Al_(19)合金薄膜的力学性能表征 | 第60-64页 |
| 3.4 伪弹性产生的机理 | 第64-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 第四章 富Ni析出相对Ni-Ti-Al合金薄膜相变行为和力学性能的影响 | 第70-86页 |
| 4.1 三元Ni-Ti-Al合金薄膜的制备 | 第71-72页 |
| 4.2 三元Ni-Ti-Al合金薄膜的结构表征 | 第72-75页 |
| 4.3 富Ni析出相对Ni-Ti-Al合金薄膜相变行为的影响 | 第75-78页 |
| 4.4 富Ni析出相对Ni-Ti-Al合金薄膜力学性能的影响 | 第78-81页 |
| 4.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 第五章 Ti/Ni多层膜的微观结构、相变行为和力学性能研究 | 第86-114页 |
| 5.1 超硬Ti/Ni多层膜的异常软化 | 第86-96页 |
| 5.1.1 退火态Ti/Ni多层膜的制备 | 第87-88页 |
| 5.1.2 退火态Ti/Ni多层膜的微结构表征 | 第88-89页 |
| 5.1.3 退火态Ti/Ni多层膜的力学性能表征 | 第89-92页 |
| 5.1.4 硬度的异常软化及其机理 | 第92-95页 |
| 5.1.5 本节小结 | 第95-96页 |
| 5.2 应变速率对Ti/Ni多层膜相变和力学性能的影响 | 第96-109页 |
| 5.2.1 Ti/Ni多层膜的制备 | 第97-98页 |
| 5.2.2 Ti/Ni多层膜的微结构表征 | 第98-100页 |
| 5.2.3 Ti/Ni多层膜的力学性能 | 第100-107页 |
| 5.2.4 本节小结 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-114页 |
| 第六章 结论与展望 | 第114-117页 |
| 6.1 结论 | 第114-115页 |
| 6.2 工作展望 | 第115-117页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
