| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-37页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 类金刚石薄膜性能及应用 | 第14-19页 |
| 1.2.1 力学与摩擦磨损性能 | 第14-16页 |
| 1.2.2 DLC薄膜电学性能 | 第16-17页 |
| 1.2.3 光学性能 | 第17页 |
| 1.2.4 声学性能 | 第17-18页 |
| 1.2.5 生物医学性能 | 第18-19页 |
| 1.3 类金刚石薄膜制备方法 | 第19-24页 |
| 1.3.1 物理气相沉积技术 | 第19-23页 |
| 1.3.2 化学气相沉积技术 | 第23-24页 |
| 1.4 掺杂类金刚石薄膜的研究现状 | 第24-35页 |
| 1.4.1 非金属掺杂类金刚石薄膜 | 第25-27页 |
| 1.4.2 金属掺杂类金刚石薄膜 | 第27-32页 |
| 1.4.3 化合物掺杂类金刚石 | 第32-35页 |
| 1.5 本文选题背景及研究内容 | 第35-37页 |
| 1.5.1 本文选题背景 | 第35页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第二章 材料与试验方法 | 第37-45页 |
| 2.1 试验材料 | 第37页 |
| 2.2 试验设备 | 第37-38页 |
| 2.3 掺杂类金刚石薄膜的制备 | 第38-40页 |
| 2.4 薄膜组织与性能的表征方法 | 第40-42页 |
| 2.4.1 薄膜微观形貌分析 | 第40-41页 |
| 2.4.2 Raman光谱分析 | 第41页 |
| 2.4.3 相结构分析 | 第41页 |
| 2.4.4 X射线光电子能谱分析 | 第41页 |
| 2.4.5 透射电子显微镜 | 第41-42页 |
| 2.4.6 薄膜厚度测试 | 第42页 |
| 2.5 薄膜的力学性能表征 | 第42-45页 |
| 2.5.1 硬度的测量 | 第42页 |
| 2.5.2 结合强度测量 | 第42-43页 |
| 2.5.3 薄膜的摩擦学性能 | 第43-45页 |
| 第三章 掺W类金刚石薄膜结构与性能研究 | 第45-67页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 掺W类金刚石薄膜的微观形貌与结构 | 第45-49页 |
| 3.2.1 掺W类金刚石薄膜微观形貌 | 第45-46页 |
| 3.2.2 掺W类金刚石薄膜微观结构 | 第46-49页 |
| 3.3 力学性能 | 第49-50页 |
| 3.4 温度对掺W类金刚石薄膜结构和性能的影响 | 第50-58页 |
| 3.4.1 薄膜微观形貌 | 第50-52页 |
| 3.4.2 温度对薄膜结构的影响 | 第52-54页 |
| 3.4.3 温度对薄膜力学性能的影响 | 第54-55页 |
| 3.4.4 温度对W-DLC摩擦磨损性能的影响 | 第55-58页 |
| 3.5 掺W类金刚石薄膜的高温摩擦行为 | 第58-66页 |
| 3.5.1 摩擦系数与磨损率 | 第58-61页 |
| 3.5.2 高温摩擦行为作用机理 | 第61-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 掺Si类金刚石薄膜的制备与性能研究 | 第67-79页 |
| 4.1 引言 | 第67页 |
| 4.2 含氢类金刚石薄膜的制备 | 第67-70页 |
| 4.2.1 薄膜制备工艺参数的制定 | 第67-68页 |
| 4.2.2 薄膜制备工艺优化 | 第68-70页 |
| 4.3 工艺参数对含氢掺Si类金刚石薄膜的性能研究 | 第70-75页 |
| 4.3.1 SiC靶功率对类金刚石薄膜化学成分的影响 | 第70-71页 |
| 4.3.2 含氢掺Si类金刚石薄膜相结构 | 第71页 |
| 4.3.3 含氢掺Si类金刚石薄膜的化学键 | 第71-73页 |
| 4.3.4 SiC靶功率密度对含氢掺Si类金刚石薄膜厚度的影响 | 第73-74页 |
| 4.3.5 SiC靶功率密度对含氢掺Si类金刚石薄膜硬度的影响 | 第74-75页 |
| 4.4 掺Si类金刚石薄膜摩擦学性能的研究 | 第75-77页 |
| 4.4.1 低湿度条件下含氢掺硅类金刚石薄膜的摩擦学性能 | 第75-76页 |
| 4.4.2 高湿度条件下含氢掺硅类金刚石薄膜的摩擦学性能 | 第76-77页 |
| 4.5 最佳Si掺杂含量的确定 | 第77-78页 |
| 4.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 掺WS_2类金刚石薄膜制备及其性能研究 | 第79-111页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 WS_2薄膜的结构与性能研究 | 第79-81页 |
| 5.3 掺WS_2类金刚石薄膜的工艺研究 | 第81-91页 |
| 5.3.1 工艺参数设定 | 第81-82页 |
| 5.3.2 WS_2-DLC薄膜微观形貌 | 第82-85页 |
| 5.3.3 掺WS_2类金刚石薄膜相结构 | 第85-86页 |
| 5.3.4 掺WS_2类金刚石薄膜的化学键分析 | 第86-90页 |
| 5.3.5 拉曼光谱分析 | 第90-91页 |
| 5.4 掺WS_2类金刚石薄膜的机械性能 | 第91-97页 |
| 5.4.1 薄膜硬度 | 第91-94页 |
| 5.4.2 结合强度 | 第94-97页 |
| 5.5 薄膜摩擦磨损性能 | 第97-108页 |
| 5.5.1 沉积工艺参数对摩擦学性能的影响 | 第97-103页 |
| 5.5.2 摩擦试验条件对摩擦系数的影响 | 第103-108页 |
| 5.6 掺WC和掺WS_2类金刚石薄膜摩擦学性能对比 | 第108-109页 |
| 5.7 本章小结 | 第109-111页 |
| 第六章 结论与展望 | 第111-114页 |
| 6.1 论文的主要结论 | 第111-112页 |
| 6.2 主要创新点 | 第112页 |
| 6.3 研究展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-126页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 附件 | 第129页 |
