基于线光源扫描的光学元件内部疵病检测
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-14页 |
| 1.1.1 ICF驱动器 | 第10-12页 |
| 1.1.2 光学元件疵病的种类及危害 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 表面疵病检测技术 | 第14-15页 |
| 1.2.2 内部疵病检测方法 | 第15-18页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 光散射理论 | 第19-33页 |
| 2.1 概述 | 第19-20页 |
| 2.2 米氏散射理论 | 第20-26页 |
| 2.2.1 单粒子的米氏散射理论 | 第20-22页 |
| 2.2.2 米氏散射理论的数值计算 | 第22-24页 |
| 2.2.3 米氏散射理论的近似 | 第24-26页 |
| 2.3 单个颗粒散射光强分布仿真 | 第26-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 基于扫描的光学元件内部疵病检测系统设计 | 第33-42页 |
| 3.1 内部疵病检测方案设计 | 第33-37页 |
| 3.2 检测系统硬件设计 | 第37-41页 |
| 3.2.1 光源 | 第38-39页 |
| 3.2.2 CCD相机 | 第39页 |
| 3.2.3 位移平台 | 第39-41页 |
| 3.2.4 待测样品 | 第41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 基于扫描的光学元件内部疵病检测过程 | 第42-53页 |
| 4.1 检测过程 | 第42-44页 |
| 4.2 子孔径拼接 | 第44-49页 |
| 4.3 疵病坐标处理 | 第49-52页 |
| 4.3.1 二维坐标 | 第49-51页 |
| 4.3.2 z坐标 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 实验数据与结果分析 | 第53-64页 |
| 5.1 实验数据 | 第53-57页 |
| 5.2 与显微镜测量结果对比 | 第57-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 工作总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第70页 |
