高精度微光学加速度计静电力闭环系统研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 MEMS加速度计发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2 MOEMS加速度计发展现状 | 第11-13页 |
| 1.3 闭环控制系统简介 | 第13-14页 |
| 1.4 研究内容及目标 | 第14-16页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第14页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第14-16页 |
| 2 MOEMS加速度计系统介绍与实验结果 | 第16-28页 |
| 2.1 MOEMS加速度计工作原理 | 第16页 |
| 2.2 MOEMS加速度计传感结构 | 第16-18页 |
| 2.3 微位移测量双光路系统 | 第18-22页 |
| 2.4 开环系统静态测试实验 | 第22-26页 |
| 2.4.1 开环系统结构 | 第22-23页 |
| 2.4.2 开环系统实验结果 | 第23-26页 |
| 2.5 开环系统结构灵敏度 | 第26-28页 |
| 3 电容式加速度计开环系统研究 | 第28-42页 |
| 3.1 电容式加速度计结构 | 第28-31页 |
| 3.2 静电力驱动非稳性研究 | 第31-34页 |
| 3.3 开环电容式加速度计工作原理 | 第34-42页 |
| 3.3.1 机械结构数学模型 | 第34-37页 |
| 3.3.2 电容检出模块数学模型 | 第37-38页 |
| 3.3.3 相敏解调和低通滤波模块数学模型 | 第38-40页 |
| 3.3.4 系统simulink模型 | 第40-42页 |
| 4 电容式加速度计闭环系统研究 | 第42-52页 |
| 4.1 闭环系统数学模型 | 第42-43页 |
| 4.2 闭环系统带宽 | 第43-45页 |
| 4.3 PID调整模块 | 第45-49页 |
| 4.3.1 PI调整 | 第46-49页 |
| 4.3.2 PID调整 | 第49页 |
| 4.4 闭环系统仿真 | 第49-52页 |
| 5 电容式加速度计闭环系统模块设计 | 第52-73页 |
| 5.1 移相模块 | 第52-55页 |
| 5.2 C/V转换模块 | 第55-57页 |
| 5.3 解调模块 | 第57-59页 |
| 5.4 低通滤波模块 | 第59-63页 |
| 5.4.1 压控电压源(VCVS) | 第60-61页 |
| 5.4.2 无限增益多端负反馈(MFB) | 第61页 |
| 5.4.3 双二次型 | 第61-62页 |
| 5.4.4 三种低通滤波器比较 | 第62-63页 |
| 5.5 PID控制模块 | 第63-67页 |
| 5.6 电容检测电路形式 | 第67-70页 |
| 5.6.1 双载波单路调制型 | 第67-70页 |
| 5.6.2 单载波双路调制型 | 第70页 |
| 5.7 闭环系统Pspice仿真 | 第70-73页 |
| 6 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 总结 | 第73页 |
| 6.2 展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 作者简介及硕士期间主要研究成果 | 第78页 |
