| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 微电子机械系统 | 第9-10页 |
| 1.2 MEMS微波功率传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.1 微波功率传感器的类型 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微波功率传感器的应用 | 第11页 |
| 1.3 微波功率传感器后端检测系统 | 第11-20页 |
| 1.3.1 微弱信号检测概述 | 第11-13页 |
| 1.3.2 微弱信号检测方法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 微弱信号抗干扰的技术措施 | 第14-15页 |
| 1.3.4 微弱信号的噪声来源 | 第15-18页 |
| 1.3.5 微弱信号检测电路 | 第18-20页 |
| 1.4 本论文的主要研究工作 | 第20-21页 |
| 1.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 MEMS微波功率传感器的模型研究 | 第22-37页 |
| 2.1 热电式MEMS微波功率传感器的结构及原理 | 第22-23页 |
| 2.2 基于傅里叶热方程的灵敏度模型 | 第23-31页 |
| 2.2.1 MEMS微波功率传感器的灵敏度及热传递方程 | 第23-27页 |
| 2.2.2 MEMS微波功率传感器傅里叶热模型的研究 | 第27-31页 |
| 2.3 MEMS微波功率传感器的系统级模型的研究 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 微波功率传感器后端检测系统的设计与仿真 | 第37-54页 |
| 3.1 检测系统中的放大电路的设计与仿真 | 第37-40页 |
| 3.1.1 AD8221的核心电路 | 第37-39页 |
| 3.1.2 放大电路的设计与仿真 | 第39-40页 |
| 3.2 检测系统中的二阶低通滤波电路的设计与仿真 | 第40-50页 |
| 3.2.1 低通滤波电路 | 第40-42页 |
| 3.2.2 低通滤波电路的设计方案 | 第42-47页 |
| 3.2.3 二阶低通滤波电路的设计与仿真 | 第47-50页 |
| 3.3 检测系统的设计与仿真 | 第50-53页 |
| 3.3.1 检测系统电路 | 第50页 |
| 3.3.2 检测系统的仿真 | 第50-52页 |
| 3.3.3 检测系统的MC仿真 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 微波功率传感器后端检测系统的制作与测试 | 第54-63页 |
| 4.1 检测系统中的放大电路的制作与测试 | 第54-56页 |
| 4.1.1 检测系统中的放大电路的制作 | 第54页 |
| 4.1.2 检测系统中的放大电路的测试 | 第54-56页 |
| 4.2 检测系统中的滤波电路的制作与测试 | 第56-58页 |
| 4.2.1 检测系统中的滤波电路的制作 | 第56页 |
| 4.2.2 检测系统中的滤波电路的测试 | 第56-58页 |
| 4.3 检测系统的制作与测试 | 第58-62页 |
| 4.3.1 检测系统的制作 | 第58页 |
| 4.3.2 检测系统的测试 | 第58-60页 |
| 4.3.3 搭载微波功率传感器的检测系统的测试 | 第60-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 论文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 论文展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录1 攻读硕士期间申请的专利 | 第68-69页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第69-70页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |