新型薄膜体声波谐振器（FBAR）技术研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 缩略词表 | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 FBAR概况 | 第14-22页 |
| 1.2.1 FBAR工作原理 | 第14-17页 |
| 1.2.2 FBAR主要参数 | 第17-18页 |
| 1.2.3 FBAR压电材料的选择 | 第18-20页 |
| 1.2.4 电极材料的选择 | 第20页 |
| 1.2.5 FBAR主流MEMS结构 | 第20-22页 |
| 1.3 FBAR国内外研究现状与应用 | 第22-26页 |
| 1.3.1 FBAR国外发展状况 | 第22-23页 |
| 1.3.2 FBAR商业应用 | 第23-25页 |
| 1.3.3 FBAR国内发展 | 第25页 |
| 1.3.4 FBAR传感器研究现状 | 第25-26页 |
| 1.4 新型FBAR研究意义 | 第26-27页 |
| 1.4.1 石墨烯FBAR研究意义 | 第26页 |
| 1.4.2 PI型FBAR磁性传感器研究意义 | 第26-27页 |
| 1.4.3 柔性FBAR研究意义 | 第27页 |
| 1.5 论文研究内容与章节安排 | 第27-29页 |
| 1.5.1 论文研究内容 | 第27-28页 |
| 1.5.2 论文各章节安排 | 第28-29页 |
| 第二章 背刻蚀FBAR器件工艺研究与测试 | 第29-49页 |
| 2.1 背刻蚀FBAR制备工艺整体流程 | 第29-30页 |
| 2.2 下电极设计与制备 | 第30-32页 |
| 2.3 压电层制备与表征 | 第32-37页 |
| 2.3.1 氧化锌介绍 | 第32-33页 |
| 2.3.2 磁控溅射氧化锌 | 第33-35页 |
| 2.3.3 氧化锌表征 | 第35-36页 |
| 2.3.4 腐蚀通孔 | 第36-37页 |
| 2.4 上电极设计与制备 | 第37-38页 |
| 2.5 背刻蚀工艺的研究 | 第38-43页 |
| 2.5.1 Si湿法刻蚀 | 第38-39页 |
| 2.5.2 背对准光刻 | 第39-40页 |
| 2.5.3 Si干法刻蚀之Bosch工艺 | 第40-43页 |
| 2.6 FBAR器件测试 | 第43-48页 |
| 2.6.1 FBAR器件测试平台 | 第43-44页 |
| 2.6.2 FBAR测试原理 | 第44-45页 |
| 2.6.3 FBAR背刻蚀器件测试结果 | 第45-48页 |
| 2.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 石墨烯FBAR研究 | 第49-65页 |
| 3.1 石墨烯FBAR研究背景与仿真 | 第49-54页 |
| 3.1.1 石墨烯简介 | 第49-51页 |
| 3.1.2 碳纳米材料在SAW与FBAR上的应用 | 第51-52页 |
| 3.1.3 石墨烯FBAR理论仿真 | 第52-54页 |
| 3.2 石墨烯FBAR工艺研究 | 第54-61页 |
| 3.2.1 石墨烯制备及转移工艺 | 第54-55页 |
| 3.2.2 基于多层石墨烯的FBAR器件制备 | 第55-59页 |
| 3.2.3 基于石墨片的FBAR器件制备 | 第59-61页 |
| 3.3 石墨烯FBAR测试 | 第61-64页 |
| 3.3.1 多层石墨烯FBAR测试 | 第61-63页 |
| 3.3.2 石墨片FBAR测试 | 第63-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 PI型磁性FBAR研究 | 第65-77页 |
| 4.1 PI型FBAR的提出与理论分析 | 第65-68页 |
| 4.1.1 PI型FBAR的提出 | 第65-66页 |
| 4.1.2 PI型FBAR的有限元仿真 | 第66-68页 |
| 4.2 PI型磁性FBAR制备与测试 | 第68-71页 |
| 4.2.1 PI型FBAR制备工艺 | 第68-69页 |
| 4.2.2 PI型FBAR磁性传感器测试 | 第69-71页 |
| 4.3 磁性FBAR传感机理分析 | 第71-72页 |
| 4.4 Mason电学模型仿真 | 第72-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-77页 |
| 第五章 柔性透明FBAR研究 | 第77-83页 |
| 5.1 柔性FBAR的探索 | 第77-78页 |
| 5.2 柔性玻璃衬底FBAR | 第78-81页 |
| 5.3 柔性玻璃FBAR应用 | 第81-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 第六章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 本文研究工作总结 | 第83-84页 |
| 6.2 论文的不足之处及今后研究方向 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 作者简历及攻读硕士期间取得的科研成果 | 第93页 |
| 作者简历 | 第93页 |
| 发表和录用的文章 | 第93页 |
