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新型薄膜体声波谐振器(FBAR)技术研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
缩略词表第9-13页
第一章 绪论第13-29页
    1.1 课题研究背景第13-14页
    1.2 FBAR概况第14-22页
        1.2.1 FBAR工作原理第14-17页
        1.2.2 FBAR主要参数第17-18页
        1.2.3 FBAR压电材料的选择第18-20页
        1.2.4 电极材料的选择第20页
        1.2.5 FBAR主流MEMS结构第20-22页
    1.3 FBAR国内外研究现状与应用第22-26页
        1.3.1 FBAR国外发展状况第22-23页
        1.3.2 FBAR商业应用第23-25页
        1.3.3 FBAR国内发展第25页
        1.3.4 FBAR传感器研究现状第25-26页
    1.4 新型FBAR研究意义第26-27页
        1.4.1 石墨烯FBAR研究意义第26页
        1.4.2 PI型FBAR磁性传感器研究意义第26-27页
        1.4.3 柔性FBAR研究意义第27页
    1.5 论文研究内容与章节安排第27-29页
        1.5.1 论文研究内容第27-28页
        1.5.2 论文各章节安排第28-29页
第二章 背刻蚀FBAR器件工艺研究与测试第29-49页
    2.1 背刻蚀FBAR制备工艺整体流程第29-30页
    2.2 下电极设计与制备第30-32页
    2.3 压电层制备与表征第32-37页
        2.3.1 氧化锌介绍第32-33页
        2.3.2 磁控溅射氧化锌第33-35页
        2.3.3 氧化锌表征第35-36页
        2.3.4 腐蚀通孔第36-37页
    2.4 上电极设计与制备第37-38页
    2.5 背刻蚀工艺的研究第38-43页
        2.5.1 Si湿法刻蚀第38-39页
        2.5.2 背对准光刻第39-40页
        2.5.3 Si干法刻蚀之Bosch工艺第40-43页
    2.6 FBAR器件测试第43-48页
        2.6.1 FBAR器件测试平台第43-44页
        2.6.2 FBAR测试原理第44-45页
        2.6.3 FBAR背刻蚀器件测试结果第45-48页
    2.7 本章小结第48-49页
第三章 石墨烯FBAR研究第49-65页
    3.1 石墨烯FBAR研究背景与仿真第49-54页
        3.1.1 石墨烯简介第49-51页
        3.1.2 碳纳米材料在SAW与FBAR上的应用第51-52页
        3.1.3 石墨烯FBAR理论仿真第52-54页
    3.2 石墨烯FBAR工艺研究第54-61页
        3.2.1 石墨烯制备及转移工艺第54-55页
        3.2.2 基于多层石墨烯的FBAR器件制备第55-59页
        3.2.3 基于石墨片的FBAR器件制备第59-61页
    3.3 石墨烯FBAR测试第61-64页
        3.3.1 多层石墨烯FBAR测试第61-63页
        3.3.2 石墨片FBAR测试第63-64页
    3.4 本章小结第64-65页
第四章 PI型磁性FBAR研究第65-77页
    4.1 PI型FBAR的提出与理论分析第65-68页
        4.1.1 PI型FBAR的提出第65-66页
        4.1.2 PI型FBAR的有限元仿真第66-68页
    4.2 PI型磁性FBAR制备与测试第68-71页
        4.2.1 PI型FBAR制备工艺第68-69页
        4.2.2 PI型FBAR磁性传感器测试第69-71页
    4.3 磁性FBAR传感机理分析第71-72页
    4.4 Mason电学模型仿真第72-74页
    4.5 本章小结第74-77页
第五章 柔性透明FBAR研究第77-83页
    5.1 柔性FBAR的探索第77-78页
    5.2 柔性玻璃衬底FBAR第78-81页
    5.3 柔性玻璃FBAR应用第81-82页
    5.4 本章小结第82-83页
第六章 总结与展望第83-85页
    6.1 本文研究工作总结第83-84页
    6.2 论文的不足之处及今后研究方向第84-85页
参考文献第85-93页
作者简历及攻读硕士期间取得的科研成果第93页
    作者简历第93页
    发表和录用的文章第93页

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