| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 典型位移传感器的现状与发展趋势 | 第10-14页 |
| 1.2.1 光栅位移传感器测量原理、现状和发展趋势 | 第10-11页 |
| 1.2.2 干涉仪测量原理、现状和发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.2.3 感应同步器测量原理、现状和发展趋势 | 第13-14页 |
| 1.3 该论文的主要研究内容 | 第14-17页 |
| 2 时栅测量原理及场式时栅的发展 | 第17-21页 |
| 2.1 时栅测量原理介绍 | 第17-18页 |
| 2.2 单齿式时栅位移传感器的研制 | 第18-19页 |
| 2.3 场式时栅的提出和发展 | 第19-20页 |
| 2.4 小结 | 第20-21页 |
| 3 光场反射式直线时栅测量原理和结构设计 | 第21-29页 |
| 3.1 光场反射式直线时栅的测量原理 | 第21-23页 |
| 3.2 光源光线的光场分布对测量精度的影响 | 第23-27页 |
| 3.2.1 光场式时栅的光场分布与空间调制 | 第23-24页 |
| 3.2.2 光场式时栅的光源选定和建模 | 第24-26页 |
| 3.2.3 光源的二次配光设计 | 第26-27页 |
| 3.3 光场反射式直线时栅测头的结构设计 | 第27-28页 |
| 3.4 小结 | 第28-29页 |
| 4 光学系统设计和光场分布仿 | 第29-47页 |
| 4.1 像差理论 | 第29-31页 |
| 4.2 光场式时栅的光学系统的设计 | 第31-42页 |
| 4.2.1 光学系统初始结构参数的确定 | 第31-35页 |
| 4.2.2 初始结构的像质分析 | 第35-38页 |
| 4.2.3 光学系统的优化求解和最终结构参数 | 第38-41页 |
| 4.2.4 优化后光学系统的像质分析 | 第41-42页 |
| 4.3 光场式时栅的光场分布仿真 | 第42-45页 |
| 4.4 小结 | 第45-47页 |
| 5 光学系统的公差分析 | 第47-51页 |
| 5.1 光学系统的公差分析介绍 | 第47-48页 |
| 5.2 公差分析方法和结果 | 第48-51页 |
| 6 总结与展望 | 第51-53页 |
| 6.1 总结 | 第51页 |
| 6.2 展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第57页 |