摘要 | 第5-6页 |
abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-24页 |
1.1 超导材料的发展 | 第10-11页 |
1.2 超导材料的应用 | 第11-12页 |
1.3 YBCO高温超导带材简介 | 第12-16页 |
1.3.1 YBCO高温超导带材的结构 | 第12-13页 |
1.3.2 YBCO高温超导带材双轴织构制备路线 | 第13-16页 |
1.4 YBCO高温超导带材的制备 | 第16-21页 |
1.4.1 金属基带的选取 | 第16页 |
1.4.2 基带表面处理 | 第16-19页 |
1.4.3 缓冲层 | 第19-20页 |
1.4.4 YBCO超导层 | 第20-21页 |
1.5 IBAD织构化的发展历程 | 第21-22页 |
1.6 论文选题依据与主要内容 | 第22-24页 |
第二章 实验方法与原理 | 第24-32页 |
2.1 实验方法 | 第24-29页 |
2.1.1 溶液沉积平坦化方法 | 第24页 |
2.1.2 离子束辅助沉积系统 | 第24-29页 |
2.2 薄膜的表征手段 | 第29-32页 |
2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
2.2.2 原子力显微镜(AFM) | 第30-31页 |
2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
第三章 IBAD技术生长双轴织构MgO | 第32-50页 |
3.1 溶液沉积平坦化(SDP)法制备非晶层Y_2O_3 | 第32-34页 |
3.1.1 SDP实验设备与流程 | 第32-33页 |
3.1.2 非晶层Y_2O_3薄膜的测试 | 第33-34页 |
3.2 基于离子束辅助沉积系统制备双轴织构MgO薄膜 | 第34-47页 |
3.2.1 离子能量对IBAD-MgO薄膜生长的影响 | 第34-38页 |
3.2.2 氩气压对IBAD-MgO薄膜织构的影响 | 第38-39页 |
3.2.3 加速极电压对IBAD-MgO薄膜织构的影响 | 第39-41页 |
3.2.4 离子束流对IBAD-MgO薄膜织构的影响 | 第41-42页 |
3.2.5 沉积速率对IBAD-MgO薄膜生长的影响 | 第42-44页 |
3.2.6 薄膜厚度对IBAD-MgO薄膜生长的影响 | 第44-47页 |
3.3 IBAD-MgO长带材的制备 | 第47-49页 |
3.4 本章小结 | 第49-50页 |
第四章 IBAD技术制备双轴织构NaF薄膜和NaCl薄膜 | 第50-65页 |
4.1 对IBAD-NaF薄膜织构化的探究 | 第50-57页 |
4.1.1 离子能量对NaF薄膜织构化的影响 | 第51-53页 |
4.1.2 沉积速率对NaF薄膜织构化的影响 | 第53-54页 |
4.1.3 薄膜厚度对NaF薄膜织构的影响 | 第54-56页 |
4.1.4 NaF薄膜形成双轴织构对基底粗糙度的要求 | 第56-57页 |
4.2 对IBAD-NaCl薄膜织构化的探究 | 第57-63页 |
4.2.1 离子能量对NaCl薄膜织构化的影响 | 第58-60页 |
4.2.2 沉积速率对NaCl薄膜织构化的影响 | 第60-61页 |
4.2.3 薄膜厚度对NaCl薄膜织构的影响 | 第61-62页 |
4.2.4 NaCl薄膜形成双轴织构对基底粗糙度的要求 | 第62-63页 |
4.3 IBAD织构化薄膜工艺的对比 | 第63-64页 |
4.4 本章小结 | 第64-65页 |
第五章 结论与展望 | 第65-67页 |
5.1 结论 | 第65页 |
5.2 展望 | 第65-67页 |
致谢 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-74页 |
攻读硕士学位期间取得的成果 | 第74-75页 |