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离子束辅助沉积双轴织构过渡层研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 超导材料的发展第10-11页
    1.2 超导材料的应用第11-12页
    1.3 YBCO高温超导带材简介第12-16页
        1.3.1 YBCO高温超导带材的结构第12-13页
        1.3.2 YBCO高温超导带材双轴织构制备路线第13-16页
    1.4 YBCO高温超导带材的制备第16-21页
        1.4.1 金属基带的选取第16页
        1.4.2 基带表面处理第16-19页
        1.4.3 缓冲层第19-20页
        1.4.4 YBCO超导层第20-21页
    1.5 IBAD织构化的发展历程第21-22页
    1.6 论文选题依据与主要内容第22-24页
第二章 实验方法与原理第24-32页
    2.1 实验方法第24-29页
        2.1.1 溶液沉积平坦化方法第24页
        2.1.2 离子束辅助沉积系统第24-29页
    2.2 薄膜的表征手段第29-32页
        2.2.1 X射线衍射(XRD)第29-30页
        2.2.2 原子力显微镜(AFM)第30-31页
        2.2.3 扫描电子显微镜(SEM)第31-32页
第三章 IBAD技术生长双轴织构MgO第32-50页
    3.1 溶液沉积平坦化(SDP)法制备非晶层Y_2O_3第32-34页
        3.1.1 SDP实验设备与流程第32-33页
        3.1.2 非晶层Y_2O_3薄膜的测试第33-34页
    3.2 基于离子束辅助沉积系统制备双轴织构MgO薄膜第34-47页
        3.2.1 离子能量对IBAD-MgO薄膜生长的影响第34-38页
        3.2.2 氩气压对IBAD-MgO薄膜织构的影响第38-39页
        3.2.3 加速极电压对IBAD-MgO薄膜织构的影响第39-41页
        3.2.4 离子束流对IBAD-MgO薄膜织构的影响第41-42页
        3.2.5 沉积速率对IBAD-MgO薄膜生长的影响第42-44页
        3.2.6 薄膜厚度对IBAD-MgO薄膜生长的影响第44-47页
    3.3 IBAD-MgO长带材的制备第47-49页
    3.4 本章小结第49-50页
第四章 IBAD技术制备双轴织构NaF薄膜和NaCl薄膜第50-65页
    4.1 对IBAD-NaF薄膜织构化的探究第50-57页
        4.1.1 离子能量对NaF薄膜织构化的影响第51-53页
        4.1.2 沉积速率对NaF薄膜织构化的影响第53-54页
        4.1.3 薄膜厚度对NaF薄膜织构的影响第54-56页
        4.1.4 NaF薄膜形成双轴织构对基底粗糙度的要求第56-57页
    4.2 对IBAD-NaCl薄膜织构化的探究第57-63页
        4.2.1 离子能量对NaCl薄膜织构化的影响第58-60页
        4.2.2 沉积速率对NaCl薄膜织构化的影响第60-61页
        4.2.3 薄膜厚度对NaCl薄膜织构的影响第61-62页
        4.2.4 NaCl薄膜形成双轴织构对基底粗糙度的要求第62-63页
    4.3 IBAD织构化薄膜工艺的对比第63-64页
    4.4 本章小结第64-65页
第五章 结论与展望第65-67页
    5.1 结论第65页
    5.2 展望第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-74页
攻读硕士学位期间取得的成果第74-75页

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