微机械加速度闭锁开关设计与可靠性研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 微机电系统与应用 | 第9-10页 |
| 1.2.1 微机电系统简介 | 第9-10页 |
| 1.2.2 微机电系统在引信中的应用 | 第10页 |
| 1.3 微加速度开关的研究现状 | 第10-17页 |
| 1.3.1 国内微加速度开关的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3.2 国外微加速度开关的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 本文主要研究目的和内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第17页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第17-19页 |
| 2 微机械加速度闭锁开关基础理论分析 | 第19-42页 |
| 2.1 应用环境分析 | 第19-22页 |
| 2.1.1 勤务处理环境 | 第19-20页 |
| 2.1.2 正常发射环境 | 第20-21页 |
| 2.1.3 碰目标环境 | 第21-22页 |
| 2.2 微机械加速度闭锁开关的性能指标 | 第22-23页 |
| 2.2.1 环境识别能力 | 第22页 |
| 2.2.2 接电稳定性 | 第22页 |
| 2.2.3 抗冲击能力 | 第22-23页 |
| 2.2.4 温度可靠性 | 第23页 |
| 2.3 微机械加速度闭锁开关工作原理 | 第23-24页 |
| 2.4 直线动态响应分析 | 第24-32页 |
| 2.4.1 单自由度系统直线响应 | 第24-29页 |
| 2.4.2 双自由度系统直线响应 | 第29-32页 |
| 2.5 MEMS开关阻尼分析 | 第32-37页 |
| 2.5.1 滑膜阻尼 | 第33-35页 |
| 2.5.2 压膜阻尼 | 第35-37页 |
| 2.6 响应模块碰撞曲线响应分析 | 第37-41页 |
| 2.6.1 碰撞动态过程 | 第37页 |
| 2.6.2 离散碰撞模型 | 第37-38页 |
| 2.6.3 连续碰撞模型 | 第38-40页 |
| 2.6.4 含齿形结构开关的运动过程 | 第40-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 3 微机械加速度闭锁开关设计与测试 | 第42-64页 |
| 3.1 响应模块设计与仿真 | 第42-50页 |
| 3.1.1 平面微弹簧设计 | 第42-45页 |
| 3.1.2 弹簧质量系统布置形式与单轴敏感 | 第45-46页 |
| 3.1.3 齿形结构的碰撞过程 | 第46-50页 |
| 3.2 闭锁模块的设计与仿真 | 第50-56页 |
| 3.2.1 闭锁模块与响应模块的相互作用 | 第50-54页 |
| 3.2.2 闭锁模块结构设计 | 第54-56页 |
| 3.3 开关整体结构有限元仿真验证 | 第56-58页 |
| 3.4 微机械加速度闭锁开关样机制作 | 第58-60页 |
| 3.4.1 加工材料及方法选择 | 第58-59页 |
| 3.4.2 样件加工流程 | 第59-60页 |
| 3.5 微机械加速度闭锁开关功能测试 | 第60-62页 |
| 3.5.1 试验装置 | 第60-61页 |
| 3.5.2 试验过程及结果 | 第61-62页 |
| 3.6 微机械加速度闭锁开关电阻测试 | 第62-63页 |
| 3.7 本章小结 | 第63-64页 |
| 4 微机械加速度闭锁开关冲击可靠性 | 第64-75页 |
| 4.1 冲击与止动结构 | 第64页 |
| 4.2 止动过程建模 | 第64-67页 |
| 4.3 止动结构设计 | 第67-71页 |
| 4.3.1 结构选型 | 第67-69页 |
| 4.3.2 结构设计 | 第69-71页 |
| 4.4 抗冲击试验 | 第71-73页 |
| 4.4.1 试验设备 | 第71-72页 |
| 4.4.2 试验结果 | 第72-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 5 微机械加速度闭锁开关温度可靠性 | 第75-83页 |
| 5.1 热应力分析 | 第75-79页 |
| 5.2 可靠性试验 | 第79-81页 |
| 5.2.1 试验设计 | 第79-80页 |
| 5.2.2 试验结果 | 第80-81页 |
| 5.3 可靠性增强 | 第81-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 6 总结与展望 | 第83-86页 |
| 6.1 全文总结 | 第83-84页 |
| 6.2 论文创新点 | 第84页 |
| 6.3 工作展望 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 附录 | 第93页 |
