微氟玻璃蚀刻技术的开发及应用
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 1 文献综述 | 第12-20页 |
| ·玻璃蚀刻技术的发展概况 | 第12-13页 |
| ·玻璃蚀刻的加工 | 第13-17页 |
| ·机械加工 | 第13-14页 |
| ·化学加工 | 第14-17页 |
| ·蚀刻废气及废液的处理 | 第17-18页 |
| ·选题背景、目的和意义 | 第18页 |
| ·选题背景 | 第18页 |
| ·选题目的和意义 | 第18页 |
| ·主要研究内容和技术路线 | 第18-20页 |
| ·主要研究内容 | 第18页 |
| ·创新之处 | 第18-19页 |
| ·技术路线 | 第19-20页 |
| 2 微氟玻璃蚀刻机理的探究 | 第20-24页 |
| ·玻璃表面结构 | 第20页 |
| ·玻璃表面的微裂纹 | 第20页 |
| ·亚表层理论 | 第20-21页 |
| ·玻璃表面对玻璃力学和光学的影响 | 第21-22页 |
| ·玻璃表面研究方法 | 第22页 |
| ·基本原理 | 第22页 |
| ·方法选择 | 第22页 |
| ·在玻璃中的应用 | 第22页 |
| ·微氟玻璃蚀刻理论探究 | 第22-24页 |
| 3 微氟玻璃蚀刻技术的实验研究 | 第24-45页 |
| ·实验仪器与药品 | 第24-25页 |
| ·实验仪器 | 第24页 |
| ·实验药品 | 第24-25页 |
| ·材料来源 | 第25页 |
| ·玻璃基片的预处理 | 第25-26页 |
| ·蚀刻液设计 | 第26-30页 |
| ·蚀刻液成分 | 第26-27页 |
| ·单因子实验 | 第27-29页 |
| ·正交试验 | 第29-30页 |
| ·最佳工艺条件的确定 | 第30-31页 |
| ·蚀刻 pH 值的确定 | 第30页 |
| ·蚀刻温度的确定 | 第30-31页 |
| ·蚀刻时间的确定 | 第31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-40页 |
| ·蚀刻液成分设计探索结果 | 第31页 |
| ·单因子实验 | 第31-36页 |
| ·正交试验 | 第36-38页 |
| ·蚀刻 pH 值对蚀刻深度δ的影响 | 第38页 |
| ·蚀刻温度 T 对蚀刻深度δ的影响 | 第38-39页 |
| ·蚀刻时间τ对蚀刻深度δ的影响 | 第39-40页 |
| ·微氟蚀刻结果表征 | 第40-44页 |
| ·表面形貌 | 第40-41页 |
| ·表面粗糙度 | 第41-42页 |
| ·透光率 | 第42页 |
| ·抗弯强度 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| ·废液处理 | 第44页 |
| ·实验结果综合评价 | 第44-45页 |
| 4 微氟玻璃蚀刻技术的应用及效果研究 | 第45-58页 |
| ·试验仪器、药品及材料来源 | 第47-48页 |
| ·材料来源 | 第47页 |
| ·蚀刻液 | 第47页 |
| ·实验仪器 | 第47页 |
| ·实验药品 | 第47-48页 |
| ·玻璃显示器的要求 | 第48-49页 |
| ·影响蚀刻效果的因素 | 第49页 |
| ·工件的材质 | 第49页 |
| ·运动方式的选择 | 第49页 |
| ·蚀刻速率 | 第49页 |
| ·工艺的选择 | 第49页 |
| ·蚀刻方式的选择 | 第49页 |
| ·微氟蚀刻工艺的应用试验 | 第49页 |
| ·工件预处理 | 第49页 |
| ·工艺条件的确定 | 第49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-51页 |
| ·蚀刻 pH 值对蚀刻深度δ的影响 | 第49-50页 |
| ·蚀刻温度 T 对蚀刻深度δ影响 | 第50-51页 |
| ·蚀刻时间τ对蚀刻速率 v 影响 | 第51页 |
| ·蚀刻应用试验的效果表征 | 第51-57页 |
| ·玻璃面板表面形貌 | 第51-54页 |
| ·玻璃面板表面元素 | 第54-55页 |
| ·玻璃面板抗弯强度 | 第55-56页 |
| ·玻璃面板的透光率 | 第56-57页 |
| ·试验综合评价 | 第57-58页 |
| 5 结论 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第64-65页 |
