| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第11-15页 |
| ·国内外研究现状综述 | 第15-28页 |
| ·基于 STM 的纳米电刻蚀加工技术 | 第15-20页 |
| ·基于 AFM 的纳米电刻蚀加工技术 | 第20-25页 |
| ·基于 SPM 纳米电刻蚀加工机理的研究 | 第25-27页 |
| ·分子动力学（MD）模拟方法在纳米电加工研究中的应用 | 第27-28页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第28-30页 |
| ·研究目的、路线和内容 | 第28-29页 |
| ·章节安排 | 第29-30页 |
| 第二章 基于 STM 纳米电刻蚀加工技术的实验研究 | 第30-60页 |
| ·基于 STM 纳米电刻蚀加工系统的组成 | 第30-36页 |
| ·基本功能单元 | 第32-34页 |
| ·驱动定位和扫描单元 | 第34页 |
| ·反馈单元 | 第34-35页 |
| ·参数检测单元 | 第35-36页 |
| ·隔振系统 | 第36页 |
| ·基于 STM 纳米电刻蚀加工实验的设计 | 第36页 |
| ·电参数的影响 | 第36-45页 |
| ·正极性下基于 STM 的电刻蚀加工实验 | 第37-44页 |
| ·负极性下基于 STM 的电刻蚀加工实验 | 第44-45页 |
| ·针尖几何构型的影响 | 第45-52页 |
| ·针尖几何构型的定义 | 第45-46页 |
| ·尖锐型 STM 针尖下的电刻蚀加工实验 | 第46-47页 |
| ·近似平底型 STM 针尖下的电刻蚀加工实验 | 第47-49页 |
| ·较大锥度型 STM 针尖下的电刻蚀加工实验 | 第49-51页 |
| ·针尖几何构型影响的总结 | 第51-52页 |
| ·纳米尺度加工间距的影响 | 第52-56页 |
| ·初始加工间距的检测和控制 | 第52-53页 |
| ·初始加工间距对蚀坑电刻蚀加工的影响 | 第53-54页 |
| ·加工过程针尖损耗对电加工结果的影响 | 第54-56页 |
| ·大气湿度的影响 | 第56-57页 |
| ·复杂图形及跨微纳米尺度电刻蚀加工的研究 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第三章 基于 AFM 纳米电刻蚀加工技术的实验研究 | 第60-85页 |
| ·基于 AFM 纳米电刻蚀加工系统的组成 | 第60-64页 |
| ·基本功能单元 | 第61-62页 |
| ·反馈控制单元 | 第62-64页 |
| ·基于 AFM 纳米电刻蚀加工实验的设计 | 第64页 |
| ·针尖几何构型的影响 | 第64-69页 |
| ·AFM 针尖几何参数的定义 | 第64-65页 |
| ·针尖几何构型对电刻蚀加工结果的影响 | 第65-69页 |
| ·正极性下电压幅值的影响 | 第69-77页 |
| ·电压幅值对纳米坑加工的影响 | 第69-72页 |
| ·电压幅值对纳米线加工的影响 | 第72-76页 |
| ·电压幅值对电极损耗的影响 | 第76-77页 |
| ·扫描速度的影响 | 第77-81页 |
| ·扫描速度对纳米线加工的影响 | 第77-80页 |
| ·加工过程电流的检测分析 | 第80-81页 |
| ·大气湿度的影响 | 第81页 |
| ·复杂图形电刻蚀加工的研究 | 第81-84页 |
| ·基于 AFM 与基于 STM 电刻蚀加工方法的比较 | 第84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第四章 基于 SPM 纳米电刻蚀加工的解析计算和有限元模拟 | 第85-105页 |
| ·基于 SPM 电刻蚀加工的电流密度解析计算 | 第85-89页 |
| ·基于 SPM 电刻蚀加工中静电场的有限元模拟 | 第89-95页 |
| ·建模 | 第89-91页 |
| ·模拟结果 | 第91-93页 |
| ·实验验证 | 第93-95页 |
| ·基于 SPM 电刻蚀加工热电耦合的有限元模拟 | 第95-104页 |
| ·建模 | 第95-98页 |
| ·模拟结果和分析对比 | 第98-104页 |
| ·本章小结 | 第104-105页 |
| 第五章 基于 SPM 纳米电刻蚀加工的分子动力学模拟 | 第105-127页 |
| ·引言 | 第105页 |
| ·分子动力学模拟方法及建模 | 第105-113页 |
| ·分子动力学模拟理论 | 第105-110页 |
| ·基于 SPM 纳米电刻蚀加工的 MD 模拟建模 | 第110-113页 |
| ·样品材料蚀除的 MD 模拟结果 | 第113-126页 |
| ·金属铜材料的 MD 模拟 | 第113-121页 |
| ·石墨材料的 MD 模拟 | 第121-125页 |
| ·不同材料 MD 模拟结果的对比与分析 | 第125-126页 |
| ·本章小结 | 第126-127页 |
| 第六章 全文总结 | 第127-130页 |
| ·主要结论 | 第127-128页 |
| ·论文创新点 | 第128-129页 |
| ·研究展望 | 第129-130页 |
| 参考文献 | 第130-145页 |
| 攻读博士学位期间已发表或录用的论文 | 第145-146页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第146-147页 |
| 致谢 | 第147-149页 |
