基于ARM的激光干涉仪抗振技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景及研究意义 | 第7页 |
| ·振动对移相干涉测量的影响 | 第7页 |
| ·抗振干涉技术的研究现状 | 第7-12页 |
| ·被动抗振技术 | 第8-9页 |
| ·主动抗振技术 | 第9-12页 |
| ·本文的章节安排 | 第12-13页 |
| 2 抗振干涉技术的原理 | 第13-17页 |
| ·移相干涉测量的原理 | 第13-14页 |
| ·波长调谐移相原理 | 第14-15页 |
| ·波长调谐抗振技术原理 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 3 抗振系统方案论证 | 第17-21页 |
| ·振动测量方案分析 | 第17-18页 |
| ·单点法测振 | 第17页 |
| ·四点法测振 | 第17-18页 |
| ·处理控制方案分析 | 第18-19页 |
| ·振动补偿方案分析 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 4 抗振系统的硬件实现 | 第21-37页 |
| ·振动探测模块的电路设计 | 第21-24页 |
| ·振动探测器件的选择 | 第21-22页 |
| ·振动探测器件的工作原理 | 第22-23页 |
| ·振动探测器件的外围电路设计 | 第23-24页 |
| ·处理控制模块的电路设计 | 第24-28页 |
| ·晶振电路 | 第25页 |
| ·复位电路 | 第25-26页 |
| ·电源电路 | 第26-28页 |
| ·JTAG调试电路 | 第28页 |
| ·振动补偿模块的电路设计 | 第28-36页 |
| ·可调谐半导体激光器 | 第28-31页 |
| ·精密可调电压源的电路设计 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 5 软件设计与实现 | 第37-45页 |
| ·ARM及其外设的初始化 | 第38-41页 |
| ·内部时钟的配置 | 第38-40页 |
| ·I/O口的初始化 | 第40-41页 |
| ·ADC通道的初始化 | 第41页 |
| ·振动信号的采集 | 第41-44页 |
| ·振动信号的处理 | 第44页 |
| ·振动信号的补偿 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 6 抗振系统测试与分析 | 第45-50页 |
| ·电路板检测 | 第46页 |
| ·精密可调电压源的测试 | 第46-47页 |
| ·系统功能测试 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 总结 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
