白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·表面形貌测量技术的研究现状 | 第12-22页 |
| ·表面形貌测量方法 | 第12-17页 |
| ·抗振反馈干涉技术 | 第17-22页 |
| ·表面形貌测量技术的发展 | 第22页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 2 基于主动抗振的白光波长扫描干涉测量 | 第25-35页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·白光波长扫描干涉原理 | 第25-28页 |
| ·常用显微干涉仪结构 | 第25-27页 |
| ·白光波长扫描干涉法 | 第27-28页 |
| ·基于DSP的主动抗振反馈方法 | 第28-29页 |
| ·基于主动抗振的表面形貌测量系统设计 | 第29-34页 |
| ·声光滤光器模块 | 第30-33页 |
| ·CCD图像采集模块 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 白光干涉抗振补偿算法研究 | 第35-44页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·相位提取算法 | 第35-42页 |
| ·光谱相移法 | 第35-36页 |
| ·光强-相位探测法 | 第36-37页 |
| ·波峰计数法 | 第37-38页 |
| ·傅里叶变换法 | 第38-42页 |
| ·抗振补偿算法 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 基于DSP的抗振反馈控制系统设计 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·硬件总体设计 | 第44-45页 |
| ·DSP及外围电路设计 | 第45-52页 |
| ·DSP最小系统设计 | 第45-47页 |
| ·A/D数据采集电路设计 | 第47-48页 |
| ·D/A转换电路设计 | 第48-49页 |
| ·异步串行口设计 | 第49-50页 |
| ·存储器设计 | 第50-52页 |
| ·DSP程序编制 | 第52-55页 |
| ·DSP主程序 | 第53-54页 |
| ·DSP自举加载程序 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 表面形貌测量系统集成与实验研究 | 第56-68页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·系统集成 | 第56-57页 |
| ·抗振反馈实验及数据处理 | 第57-67页 |
| ·表面评定参数 | 第57-59页 |
| ·抗振反馈实验 | 第59-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·总结 | 第68页 |
| ·展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 作者在研期间所取得的科研成果和参与的科研项目 | 第74页 |
