| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-36页 |
| ·ZnO材料概述 | 第15-16页 |
| ·非掺杂Si基ZnO薄膜中的本征缺陷和电学性质 | 第16-18页 |
| ·Si基ZnO薄膜的光学性质 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜特性及其应用 | 第19-22页 |
| ·透明导电薄膜 | 第19页 |
| ·声表面波器件 | 第19-20页 |
| ·发光器件 | 第20-21页 |
| ·紫外探测器件 | 第21-22页 |
| ·几种Si基ZnO薄膜制备方法简介 | 第22-27页 |
| ·Sol-Gel法 | 第23-24页 |
| ·磁控反应溅射法 | 第24-26页 |
| ·激光脉冲沉积法 | 第26-27页 |
| ·本论文的研究意义和内容 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-36页 |
| 第2章 Si基ZnO薄膜制备工艺以及表征方法和原理 | 第36-56页 |
| ·引言 | 第36-38页 |
| ·MOCVD方法沉积Si基ZnO薄膜的工艺参数 | 第36-37页 |
| ·Sol-Gel方法沉积Si基ZnO薄膜的工艺参数 | 第37页 |
| ·RF Reactive Sputtering方法沉积Si基ZnO薄膜的工艺参数 | 第37页 |
| ·PLD方法沉积Si基ZnO薄膜的工艺参数 | 第37-38页 |
| ·试样的欧姆接触原理及制备 | 第38-39页 |
| ·ZnO/Si薄膜的形貌和结构表征 | 第39-44页 |
| ·原子力显微镜基本工作原理 | 第40-41页 |
| ·X射线衍射分析的基本工作原理 | 第41-43页 |
| ·椭圆偏振光法基本原理 | 第43-44页 |
| ·ZnO/Si异质结构的电学方法表征和参数分析方法 | 第44-51页 |
| ·ZnO/Si异质结构的I-V方法测量和分析方法 | 第44-48页 |
| ·ZnO/Si异质结的C-V方法测量和分析方法 | 第48-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 第3章 Si基ZnO薄膜中的深能级中心测试技术 | 第56-82页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·深能级中心测试的理论基础 | 第57-72页 |
| ·载流子的复合中心理论 | 第57-64页 |
| ·结空间电荷区的瞬变分析理论 | 第64-67页 |
| ·等温条件下的瞬态分析 | 第67-72页 |
| ·DLTS方法的半导体中深能级测量 | 第72-79页 |
| ·DLTS原理 | 第72-76页 |
| ·N.J.M.DLTS仪器的构成和工作原理 | 第76-77页 |
| ·热激电流法原理 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 第4章 Si基ZnO薄膜中的发光和复合中心研究 | 第82-94页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·Si基ZnO薄膜的结构表征 | 第82-83页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构的I-V特性分析 | 第83-84页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构的DLTS特性分析 | 第84-87页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构的TSC特性分析 | 第87-88页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构的PL谱特性分析 | 第88-90页 |
| ·本章结论 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-94页 |
| 第5章 ZnO/p-Si中晶界行为及其载流子输运机制研究 | 第94-108页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构的形貌和电学特性 | 第94-102页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构中晶界行为对载流子输运的影响 | 第102-103页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构中微结构变化对晶界行为的影响 | 第103-105页 |
| ·本章结论 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-108页 |
| 第6章 Si基ZnO薄膜中的晶界电阻温度系数特性研究 | 第108-120页 |
| ·引言 | 第108页 |
| ·RF sputtering试样的Ⅰ-Ⅴ和DLTS特性测量 | 第108-111页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构电学和深能级中心特性测量 | 第111-114页 |
| ·ZnO/p-Si异质结构晶界电阻温度特性研究 | 第114-117页 |
| ·未退火试样晶界电阻温度系数变化分析 | 第114-115页 |
| ·N_2-800℃试样晶界电阻温度系数变化分析 | 第115-116页 |
| ·O_2-800℃试样晶界电阻温度系数变化分析 | 第116-117页 |
| ·本章结论 | 第117页 |
| 参考文献 | 第117-120页 |
| 第7章 ZnO/n-Si异质结构的光电特性研究 | 第120-128页 |
| ·引言 | 第120页 |
| ·ZnO/n-Si异质结构的形貌表征及分析 | 第120-123页 |
| ·ZnO/n-Si异质结构的电学特性表征及分析 | 第123-126页 |
| ·本章结论 | 第126页 |
| 参考文献 | 第126-128页 |
| 第8章 结论 | 第128-131页 |
| 附录 | 第131-132页 |
| 攻读博士期间论文目录 | 第131页 |
| 已发表论文 | 第131页 |
| 会议报告 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132页 |
