用于MEMS传感器的小电容读取技术的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·小电容读出技术的研究现状 | 第9-10页 |
| ·论文的主要内容 | 第10-12页 |
| 第二章 MEMS 传感器的检测技术 | 第12-18页 |
| ·机械检测 | 第12-13页 |
| ·电容检测 | 第13-15页 |
| ·差分电容的形成 | 第13页 |
| ·C/V 原理 | 第13-15页 |
| ·新型CMOS-MEMS 工艺 | 第15-17页 |
| ·CMOS-MEMS 工艺的研究现状 | 第15-16页 |
| ·新型CMOS-MEMS 工艺流程 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 小电容读出技术的研究 | 第18-27页 |
| ·噪声优化技术 | 第18-22页 |
| ·小电容读出电路的噪声源 | 第18-20页 |
| ·低噪声优化技术 | 第20-22页 |
| ·功耗优化技术 | 第22-24页 |
| ·载波信号的优化 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 斩波稳定读出电路的设计 | 第27-50页 |
| ·斩波稳定技术 | 第27-29页 |
| ·斩波稳定技术的原理 | 第27-28页 |
| ·噪声性能分析 | 第28-29页 |
| ·斩波稳定读出电路 | 第29页 |
| ·电路设计 | 第29-47页 |
| ·前置放大器的设计 | 第29-32页 |
| ·调制解调开关的设计 | 第32-36页 |
| ·缓冲器的设计 | 第36-40页 |
| ·低通滤波器的设计 | 第40-42页 |
| ·两相非交叠时钟的设计 | 第42-44页 |
| ·带隙基准源的设计 | 第44-47页 |
| ·小电容读出整体电路的仿真与分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 非理想因素分析 | 第50-56页 |
| ·检测电容失配分析 | 第50-52页 |
| ·载波信号的稳定性分析 | 第52-55页 |
| ·误差源分析 | 第52-53页 |
| ·仿真结果与分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·论文工作总结 | 第56-57页 |
| ·后续工作展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |
