| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·课题主要研究内容 | 第13-16页 |
| 2 SAW 技术与 SAW 器件 | 第16-24页 |
| ·SAW 技术原理 | 第16-17页 |
| ·SAW 器件构成 | 第17-20页 |
| ·SAW 器件常用基片材料 | 第20-23页 |
| ·SAW 基片材料简介 | 第20页 |
| ·石英晶体的特性 | 第20-21页 |
| ·石英晶体弹性常数的求解 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 无源无线 SAW 传感器及仪器系统 | 第24-30页 |
| ·无源无线SAW 传感器 | 第24-25页 |
| ·无源无线SAW 延迟线型传感器 | 第24页 |
| ·无源无线SAW 谐振型传感器 | 第24-25页 |
| ·无源无线SAW 传感器的性能特点 | 第25页 |
| ·无源无线SAW 传感器测量仪器系统 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 4 谐振型无源无线 SAW 压力传感器敏感单元研究 | 第30-46页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·SAW 谐振器压力敏感机理 | 第30-31页 |
| ·敏感结构力学分析 | 第31-42页 |
| ·可变形固体基本假设 | 第31-32页 |
| ·弹性敏感元件的力学特性 | 第32-37页 |
| ·敏感结构对比与选择 | 第37-42页 |
| ·SAW 谐振器的位置分布设计 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 无源无线 SAW 压力传感器结构设计与实现 | 第46-56页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·无源无线SAW 压力传感器结构设计 | 第46-50页 |
| ·压力传感器工作原理 | 第46-48页 |
| ·机芯及校准机构设计 | 第48-50页 |
| ·基于有限元法的模拟与仿真 | 第50-54页 |
| ·仿真软件简介 | 第50-51页 |
| ·仿真结果与分析 | 第51-54页 |
| ·无源无线SAW 压力传感器的加工、封装及引线工艺 | 第54-55页 |
| ·SAW 谐振器的制作工艺 | 第54页 |
| ·无源无线SAW 压力传感器的封装与引线 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 无源无线 SAW 压力传感器实验测试 | 第56-70页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·无源无线SAW 压力传感器实验测试方案设计 | 第56-57页 |
| ·压力发生器工作原理 | 第56-57页 |
| ·无源无线SAW 压力传感器实验方案 | 第57页 |
| ·SAW 谐振器静态特性测试 | 第57-58页 |
| ·恒温下压力实验与分析 | 第58-65页 |
| ·压力实验 | 第58-60页 |
| ·误差分析 | 第60-65页 |
| ·恒压下温度实验与分析 | 第65-68页 |
| ·谐振器1 的温度实验 | 第65-66页 |
| ·谐振器2 的温度实验 | 第66-67页 |
| ·温度实验结果分析 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 7 结论 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录 | 第78页 |