| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 引言 | 第7-11页 |
| 第2章 理论基础 | 第11-20页 |
| ·Monte Carlo 方法概述 | 第11-13页 |
| ·动力学模拟的基本假设 | 第13页 |
| ·动力学模拟的细节描述 | 第13-20页 |
| ·物理过程 | 第14-15页 |
| ·烧蚀原子参数的计算 | 第15-17页 |
| ·环境气体原子参数的计算 | 第17页 |
| ·模拟的基础 | 第17-20页 |
| 第3章 结果与分析 | 第20-39页 |
| ·环境气体的原子质量和原子半径对振荡时间的影响 | 第20-23页 |
| ·极端条件下的模拟 | 第23-26页 |
| ·极小压强情况下的模拟 | 第23-26页 |
| ·极大靶衬间距情况下的模拟 | 第26页 |
| ·衬底作用的研究 | 第26-29页 |
| ·混合气体原子数配比对纳米晶粒的影响 | 第29-33页 |
| ·多脉冲作用的研究 | 第33-36页 |
| ·Monte Carlo模拟交叠区模型与成核区模型的关系 | 第36-39页 |
| 第4章 结束语 | 第39-41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |
| 致谢 | 第44页 |