| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| ·本论文的研究背景 | 第11-12页 |
| ·微流体阀的研究现状 | 第12-16页 |
| ·膈膜式主动微流体阀 | 第12-14页 |
| ·悬臂梁式主动微流体阀 | 第14-15页 |
| ·球阀式主动微流体阀 | 第15页 |
| ·磁/电流变主动微流体阀 | 第15-16页 |
| ·微流体阀的应用 | 第16-19页 |
| ·微量输送 | 第17页 |
| ·微量采样 | 第17页 |
| ·微型喷射 | 第17页 |
| ·微型散热 | 第17-19页 |
| ·新型智能材料及其驱动器简介 | 第19-21页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第21-23页 |
| ·研究目的 | 第21页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第21-23页 |
| 2 具有圆环面边界的微流体主动阀的原理与结构的研究 | 第23-36页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·微流体主动控制阀的工作原理与结构 | 第23-25页 |
| ·微流体主动控制阀的流量及控制模型 | 第25-27页 |
| ·微流体主动控制阀的流量 | 第25-27页 |
| ·微流体主动控制阀的控制模型 | 第27页 |
| ·阀腔内薄膜执行元件的受力情况 | 第27-35页 |
| ·圆环面边界的内外半径对微流体主动控制阀性能的影响 | 第28-29页 |
| ·驱动器和进出口压差对微流体主动控制阀的流量的控制 | 第29-33页 |
| ·阀腔内的压力分布及阀座的受力情况的仿真 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 复合圆盘形压电振子的原理与结构研究 | 第36-60页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·压电效应与压电材料 | 第36-39页 |
| ·压电效应及其原理 | 第36页 |
| ·压电材料 | 第36-37页 |
| ·压电方程 | 第37-39页 |
| ·压电陶瓷的主要性能参数和迟滞特性及疲劳强度 | 第39-43页 |
| ·压电陶瓷的主要性能参数 | 第39-41页 |
| ·压电陶瓷的迟滞特性 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷疲劳强度 | 第42-43页 |
| ·复合圆盘形压电振子的原理 | 第43-44页 |
| ·复合圆盘形压电振子的控制模型及其仿真 | 第44-50页 |
| ·边界条件 | 第44-45页 |
| ·复合圆盘形压电振子的控制模型 | 第45-48页 |
| ·仿真参数 | 第48页 |
| ·复合圆盘形压电振子的变形仿真 | 第48-50页 |
| ·影响复合圆盘形压电振子变形的因素仿真分析 | 第50-53页 |
| ·复合圆盘形压电振子的组成材料对其变形影响的仿真 | 第50页 |
| ·复合圆盘形压电振子的边界条件对其变形影响的仿真 | 第50页 |
| ·复合圆盘形压电振子的覆盖条件对其变形的影响 | 第50-53页 |
| ·复合圆盘形压电振子结构优化 | 第53-55页 |
| ·厚度优化 | 第53页 |
| ·半径比优化 | 第53-55页 |
| ·复合圆形压电振子的振动理论分析 | 第55-56页 |
| ·基本假设 | 第55页 |
| ·复合圆盘形压电振子的振动模式 | 第55-56页 |
| ·复合圆盘形压电振子模态有限元分析 | 第56-59页 |
| ·复合圆盘形压电振子的有限元分析及其模型建立 | 第56-57页 |
| ·复合圆盘形压电振子的模态的有限元仿真与分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体阀的结构及性能研究 | 第60-77页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·驱动方式的比较及选择 | 第60-61页 |
| ·基于压电驱动的微流体主动控制阀的工作原理与结构 | 第61页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体主动控制阀的流量及其控制模型 | 第61-64页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体主动控制阀的流量 | 第61-64页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体主动控制阀的控制模型 | 第64页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体阀的漏流量的分析与仿真 | 第64-74页 |
| ·微流体主动控制阀的漏流量的分析 | 第65-66页 |
| ·圆环面边界的内外半径对作为微流体主动控制阀驱动器的复合圆盘形压电振子的受力影响的仿真 | 第66-68页 |
| ·有限元分析软件ANSYS 及其结构仿真 | 第68-69页 |
| ·圆环面边界的内外半径对复合压圆盘形压电振子的静态形变影响的仿真 | 第69-70页 |
| ·圆环面边界的内外半径对微流体主动控制阀的漏流量影响的仿真 | 第70-74页 |
| ·控制电压和进出口压差对微流体主动控制阀的流量的控制 | 第74-76页 |
| ·本章小节 | 第76-77页 |
| 5 复合圆盘形压电振子及其驱动的阀的性能测试 | 第77-89页 |
| ·复合圆盘形压电振子的样品设计 | 第77页 |
| ·复合圆盘形压电振子的实验测试方案 | 第77-79页 |
| ·实验设备 | 第77页 |
| ·测试系统介绍及实验目的 | 第77-79页 |
| ·驱动电源概述 | 第79页 |
| ·复合圆盘形压电振子的实验测试 | 第79-85页 |
| ·直流电压与复合圆盘形压电振子变形之间实验测试 | 第79-82页 |
| ·输入信号、幅度与复合圆盘形压电振子变形之间的关系 | 第82页 |
| ·复合圆盘形压电振子的谐振频率和频率与变形之间关系 | 第82-85页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体阀的实验测试 | 第85-89页 |
| ·测试系统介绍及实验目的 | 第85页 |
| ·基于复合圆盘形压电振子驱动的微流体阀的流量测试 | 第85-89页 |
| 6 结论和后续工作展望 | 第89-92页 |
| ·全文工作总结 | 第89-90页 |
| ·论文工作的贡献与创新点 | 第90页 |
| ·后续工作展望 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-99页 |
| 附录 | 第99-101页 |
