碲锌镉晶体研磨与磨削的试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·CZT材料特性及加工现状 | 第8-11页 |
| ·CZT晶体材料特性 | 第8-9页 |
| ·CZT晶体加工现状 | 第9-11页 |
| ·超精密磨削技术的发展 | 第11-12页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第12-13页 |
| ·课题来源及本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| ·课题的来源 | 第13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-15页 |
| 2 CZT研磨工艺的研究 | 第15-24页 |
| ·研磨工艺试验方案设计和试验条件 | 第15-17页 |
| ·试验方案设计 | 第15-16页 |
| ·试验条件 | 第16-17页 |
| ·研磨试验和结果 | 第17-23页 |
| ·磨料种类的影响 | 第17-18页 |
| ·磨粒粒度的影响 | 第18-20页 |
| ·研磨压力的影响 | 第20-21页 |
| ·主轴转数的影响 | 第21-22页 |
| ·研磨液浓度的影响 | 第22页 |
| ·研磨液流量的影响 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 用游离磨粒加工软脆材料时去除机理的研究 | 第24-34页 |
| ·模型的建立 | 第24-29页 |
| ·二体磨粒的作用 | 第25页 |
| ·三体磨粒的作用 | 第25-26页 |
| ·嵌入的磨粒的作用 | 第26-27页 |
| ·小磨粒的作用 | 第27页 |
| ·磨粒的综合作用 | 第27-29页 |
| ·试验 | 第29-32页 |
| ·试验条件 | 第29页 |
| ·试验结果和分析 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 CZT磨削工艺的研究 | 第34-45页 |
| ·试验条件 | 第34-38页 |
| ·试验结果和分析 | 第38-44页 |
| ·试验平台1的试验结果和分析 | 第38-39页 |
| ·试验平台2的试验结果和分析 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 CZT晶体工艺路线的确定 | 第45-54页 |
| ·试验条件 | 第45-48页 |
| ·试验结果与分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
