| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| ·表面电磁波的概念 | 第11-12页 |
| ·表面电磁波的发展与研究现状 | 第12-16页 |
| ·表面电磁波的发展 | 第12页 |
| ·表面电磁波的研究现状 | 第12-16页 |
| ·本文的主要工作 | 第16-17页 |
| 2 表面电磁波及耦合理论 | 第17-27页 |
| ·表面电磁波的一般理论 | 第17-21页 |
| ·表面电磁波传播模型和色散关系 | 第17-18页 |
| ·介电常数问题 | 第18-19页 |
| ·色散关系曲线 | 第19-21页 |
| ·棱镜耦合理论 | 第21-24页 |
| ·衰减全反射 | 第21-22页 |
| ·棱镜耦合改变色散关系 | 第22-24页 |
| ·表面光栅耦合理论 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 表面光栅结构设计及制作工艺研究 | 第27-50页 |
| ·表面光栅结构的设计 | 第27-30页 |
| ·一维表面光栅图形的设计 | 第27页 |
| ·二维表面光栅图形的设计 | 第27-29页 |
| ·表面光栅总体结构的设计 | 第29-30页 |
| ·表面光栅制作工艺流程 | 第30-36页 |
| ·结构一的制作工艺流程 | 第30-34页 |
| ·结构二的制作工艺流程 | 第34-36页 |
| ·磁增强反应离子刻蚀SIC 的研究 | 第36-46页 |
| ·刻蚀原理 | 第36-37页 |
| ·实验方案与刻蚀过程 | 第37-39页 |
| ·实验结果及讨论 | 第39-45页 |
| ·总结及结论 | 第45-46页 |
| ·表面光栅样品 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 4 微加热器的设计、实验和模拟分析 | 第50-64页 |
| ·整体加热与局部加热 | 第50-51页 |
| ·微加热器设计，实验及结果 | 第51-59页 |
| ·微加热器的选材 | 第51-52页 |
| ·微加热器图形设计及实验结果 | 第52-59页 |
| ·微加热器的封装 | 第59-60页 |
| ·微加热器温度分布场的有限元分析 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 测试方案设计研究及测试结果 | 第64-75页 |
| ·反射谱的测试及结果 | 第64-69页 |
| ·国外研究小组反射谱的测试方案 | 第64-65页 |
| ·利用傅立叶红外光谱仪（FTIR）和显微红外测试反射谱及结果分析 | 第65-69页 |
| ·发射场的测试 | 第69-74页 |
| ·国外研究小组发射谱的测试方案 | 第70-71页 |
| ·本项目研究的发射谱的测试方案 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 6 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·研究工作总结 | 第75页 |
| ·待解决问题 | 第75-76页 |
| ·研究展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |