立方氮化硼薄膜的制备和机理研究
| 目录 | 第1-3页 |
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 第一章 立方氮化硼的物性与应用 | 第5-11页 |
| ·氮化硼的结构 | 第5-6页 |
| ·氮化硼性质和应用 | 第6-7页 |
| ·氮化硼的制备 | 第7-8页 |
| ·氮化硼薄膜应用所面临的问题 | 第8-9页 |
| ·cBN薄膜的生长模型以及各自的局限性 | 第9-11页 |
| 第二章 立方氮化硼薄膜的制备系统和表征 | 第11-18页 |
| ·溅射镀膜的原理 | 第11-14页 |
| ·氮化硼薄膜的表征 | 第14-18页 |
| 第三章 氧对氮化硼薄膜生长的影响 | 第18-25页 |
| ·正常条件下引入氧气对制备立方氮化硼的影响 | 第18-21页 |
| ·氮气的含量不足时氧气对立方相生长的影响 | 第21-25页 |
| 第四章 直流偏压立方氮化硼薄膜的制备实验 | 第25-32页 |
| ·参数对氮化硼薄膜制备的影响 | 第25-28页 |
| ·氮化硼薄膜生长过程研究 | 第28-31页 |
| ·两步法制备氮化硼薄膜 | 第31页 |
| 本章小结 | 第31-32页 |
| 第五章 计算机模拟氮化硼薄膜的沉积 | 第32-37页 |
| ·模拟参数选择 | 第32-34页 |
| ·氮化硼薄膜沉积模拟 | 第34-35页 |
| ·其他原子对组分的影响 | 第35-36页 |
| 小结 | 第36-37页 |
| 第六章 氮化硼薄膜的破裂情况研究 | 第37-40页 |
| ·氮化硼薄膜在不同气氛中的变化 | 第37-38页 |
| ·氮化硼薄膜在液体环境的变化 | 第38-39页 |
| 小结 | 第39-40页 |
| 总结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
