纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-32页 |
| ·微细加工技术及其应用 | 第16-18页 |
| ·微细加工技术的种类及发展 | 第18-21页 |
| ·硅微细加工技术 | 第18页 |
| ·超精密机械微细加工技术 | 第18页 |
| ·LIGA 和准LIGA 技术 | 第18-19页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第19-20页 |
| ·高能束流微细加工技术 | 第20-21页 |
| ·微细电化学加工技术 | 第21-28页 |
| ·微细电铸技术 | 第22页 |
| ·EFAB 技术 | 第22-23页 |
| ·CELT 技术 | 第23-24页 |
| ·高频脉冲微细电解加工 | 第24-26页 |
| ·超短脉冲微细电解加工 | 第26-27页 |
| ·其他微细电解加工技术 | 第27-28页 |
| ·本文研究意义以及主要研究内容 | 第28-30页 |
| ·本文研究主要创新点 | 第30-32页 |
| 第二章 纳秒脉冲微细电化学加工机理 | 第32-47页 |
| ·电解加工技术的原理 | 第32-33页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第33-34页 |
| ·电化学暂态加工过程及理论模型 | 第34-42页 |
| ·电极反应过程 | 第34-35页 |
| ·电极暂态过程的特点 | 第35-37页 |
| ·电化学极化方程 | 第37-38页 |
| ·电极暂态过程的电极电位 | 第38-40页 |
| ·电化学暂态加工的理论模型 | 第40-42页 |
| ·纳秒脉冲实现微细电化学加工的机理 | 第42-45页 |
| ·脉冲参数对电化学加工的影响 | 第42-43页 |
| ·电解液参数对电化学加工的影响 | 第43-45页 |
| ·纳秒脉冲电化学加工的机理 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第三章 微细电化学加工系统 | 第47-62页 |
| ·微细电化学加工系统的总体组成 | 第47-49页 |
| ·微细电化学加工机床 | 第49-50页 |
| ·加工试验系统的控制部分 | 第50-52页 |
| ·加工试验系统的检测部分 | 第52-55页 |
| ·电解液系统 | 第55-58页 |
| ·加工试验的控制软件 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 纳秒脉冲电源的制作及应用 | 第62-74页 |
| ·电解加工电源的发展及其对加工的影响作用 | 第62-65页 |
| ·低频宽脉冲电解加工 | 第62-63页 |
| ·高频窄脉冲电解加工 | 第63-64页 |
| ·高频群脉冲电解加工 | 第64页 |
| ·纳秒脉冲微细电解加工 | 第64-65页 |
| ·纳秒脉冲电化学加工电源的研制 | 第65-72页 |
| ·脉冲参数的定义 | 第65-66页 |
| ·纳秒脉冲电源的设计思路及总体构成 | 第66-67页 |
| ·基准脉冲电路 | 第67-70页 |
| ·脉冲参数设置电路 | 第70-72页 |
| ·整形与控制电路的研制 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 微细电化学加工试验 | 第74-92页 |
| ·微细电化学加工实验的相关研究 | 第74-78页 |
| ·微细电解加工的加工间隙及定域性分析 | 第74-76页 |
| ·工具电极和工件之间的加工对刀 | 第76-78页 |
| ·微细电解加工工具电极的制作 | 第78-84页 |
| ·微细工具电极的制作方法 | 第78-80页 |
| ·微细工具电极的制作原理 | 第80-81页 |
| ·微细工具电极的加工试验 | 第81-84页 |
| ·微细孔的电化学加工试验 | 第84-91页 |
| ·工具电极对加工效果的影响 | 第84-85页 |
| ·加工电源对加工效果的影响 | 第85-86页 |
| ·电解液流动方式对微孔加工的影响 | 第86-88页 |
| ·纳秒脉冲参数对加工精度的影响 | 第88-90页 |
| ·减小微孔加工锥度的研究 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 微细结构的电化学加工及工艺研究 | 第92-110页 |
| ·电化学加工微细结构的控制方法 | 第92-95页 |
| ·加工状态的过程检测 | 第92-93页 |
| ·加工过程的控制程序 | 第93-95页 |
| ·微槽的纳秒脉冲微细电化学加工 | 第95-101页 |
| ·脉冲宽度对加工的影响 | 第95-96页 |
| ·占空比对加工的影响 | 第96-97页 |
| ·电压幅值对加工的影响 | 第97-99页 |
| ·电解液浓度对加工的影响 | 第99-100页 |
| ·进给运动路径对加工的影响 | 第100-101页 |
| ·微型腔的纳秒脉冲微细电化学加工 | 第101-104页 |
| ·间隙电场分布对微型腔加工的影响 | 第101-103页 |
| ·进给深度和进给速度对加工的影响 | 第103-104页 |
| ·纳秒脉冲微细电化学直写加工 | 第104-105页 |
| ·成型电极的微细电化学加工 | 第105-107页 |
| ·不同工件材料的微细电化学加工 | 第107-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第七章 结论与展望 | 第110-112页 |
| ·本文的主要结论 | 第110-111页 |
| ·对本研究工作的展望 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 在学期间发表的学术论文及研究成果 | 第121-123页 |
| 附录 | 第123页 |
