Zygo干涉仪及其应用的研究

中文摘要	第1-3页
英文摘要	第3-6页
第一章 绪论	第6-10页
·Fiseau 型干涉仪简介	第6页
·Fizeau 型干涉仪发展现状	第6-8页
·论文课题研究的背景	第8-9页
·研究的主要内容和意义	第9-10页
第二章 干涉图像采集系统的设计	第10-17页
·图像采集系统的设计要求和总体结构	第10-11页
·图像采集系统的硬件设计	第11-16页
·器件选择	第11-12页
·硬件设计中的关键技术	第12-16页
·图像采集系统控制软件的设计	第16-17页
·控制软件的功能要求	第16页
·控制软件的功能实现和界面	第16-17页
第三章 干涉图像处理软件的设计	第17-39页
·干涉条纹图像处理方法	第17-20页
·干涉图像判读方法介绍	第17-18页
·本文所用干涉图处理方法介绍	第18-20页
·干涉图像处理过程	第20-37页
·干涉图像的预处理	第21-24页
·干涉图像处理	第24-36页
·交互数据输出	第36-37页
·部分处理操作的结果和软件界面	第37-39页
第四章 zygo 干涉仪在表面温度测量方面的应用	第39-43页
·物体表面温度测量技术简介	第39页
·干涉法测量热圆柱体表面温度的基本原理	第39-42页
·测量数据和误差分析	第42-43页
参考文献	第43-45页
攻读硕士学位期间发表的论文	第45页
致谢	第45页