双频容性耦合等离子体的全悬浮双探针及质谱诊断研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-40页 |
| ·等离子体介绍 | 第12-13页 |
| ·低温等离子体技术在微电子工业中的应用 | 第13-15页 |
| ·低温等离子体源 | 第15-21页 |
| ·单频容性耦合等离子体 | 第16-17页 |
| ·电子回旋共振等离子体 | 第17-18页 |
| ·螺旋波等离子体 | 第18-19页 |
| ·感性耦合等离子体 | 第19-21页 |
| ·双频容性耦合等离子体特性 | 第21-23页 |
| ·双频容性耦合等离子体研究进展 | 第23-38页 |
| ·理论研究进展 | 第24-25页 |
| ·实验研究进展 | 第25-38页 |
| ·研究中存在的问题 | 第38页 |
| ·本文研究内容及安排 | 第38-40页 |
| 2 等离子体诊断方法介绍 | 第40-55页 |
| ·Langmuir静电探针法 | 第40-49页 |
| ·静电探针的使用条件 | 第41-42页 |
| ·单探针法 | 第42-47页 |
| ·双探针法 | 第47-49页 |
| ·质谱法 | 第49-53页 |
| ·质谱仪的性能指标及分类 | 第49-50页 |
| ·四极杆质谱诊断原理 | 第50-53页 |
| ·光谱法 | 第53-55页 |
| ·发射光谱法 | 第53-54页 |
| ·吸收光谱法 | 第54-55页 |
| 3 DF-CCP实验装置 | 第55-68页 |
| ·DF-CCP放电系统 | 第55-58页 |
| ·高频和低频电源 | 第55-56页 |
| ·腔室结构 | 第56-57页 |
| ·进气和抽气系统 | 第57-58页 |
| ·全悬浮双探针诊断系统 | 第58-65页 |
| ·诊断方法及技术特点 | 第59-63页 |
| ·双探针制作方法 | 第63-64页 |
| ·数据采集及分析系统 | 第64-65页 |
| ·四极杆质谱诊断系统 | 第65-68页 |
| 4 DF-CCP空间均匀性的双探针诊断研究 | 第68-89页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·不同放电参数下的径向空间分辨研究 | 第68-78页 |
| ·放电气压影响 | 第69-72页 |
| ·低频功率影响 | 第72-74页 |
| ·高频功率影响 | 第74-76页 |
| ·放电间距影响 | 第76-77页 |
| ·低频频率影响 | 第77-78页 |
| ·不同放电参数下的轴向空间分辨研究 | 第78-86页 |
| ·放电气压影响 | 第78-81页 |
| ·低频功率影响 | 第81-83页 |
| ·高频功率影响 | 第83-84页 |
| ·放电间距影响 | 第84-85页 |
| ·低频频率影响 | 第85-86页 |
| ·部分实验结果与模拟比较 | 第86-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 5 DF-CCP的双频耦合效应研究 | 第89-100页 |
| ·引言 | 第89-90页 |
| ·高低频电源耦合效应研究 | 第90-93页 |
| ·不同放电间距下的耦合效应 | 第93-95页 |
| ·不同气压下的耦合效应 | 第95-97页 |
| ·不同低频频率下的耦合效应 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 6 DF-CCP质谱诊断研究 | 第100-115页 |
| ·引言 | 第100-102页 |
| ·Ar/O_2放电的离子能量分布和平均能量研究 | 第102-114页 |
| ·低频功率影响 | 第103-109页 |
| ·气压影响 | 第109-110页 |
| ·低频频率影响 | 第110-112页 |
| ·O_2含量的影响 | 第112-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 结论与展望 | 第115-118页 |
| 1 主要结论 | 第115-116页 |
| 2 展望 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-126页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第126-127页 |
| 创新点摘要 | 第127-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 作者简介 | 第129-130页 |
