织构对铁电薄膜有效模量的影响
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 引言 | 第8-16页 |
| 第一节 铁电薄膜材料的发展及应用 | 第8-10页 |
| 第二节 铁电薄膜材料的制备方法 | 第10-11页 |
| 第三节 铁电薄膜材料的织构 | 第11-13页 |
| 第四节 铁电薄膜材料的宏观有效模量 | 第13-14页 |
| 第五节 本论文选题依据和主要内容 | 第14-16页 |
| 第一章 PZT薄膜材料的制备 | 第16-24页 |
| 第一节 PZT薄膜材料衬底的选择 | 第16-17页 |
| 第二节 脉冲激光沉积法制备PZT薄膜 | 第17-18页 |
| 第三节 金属有机物分解法制备PZT薄膜 | 第18-23页 |
| 第四节 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 PZT薄膜的有效模量模拟 | 第24-41页 |
| 第一节 细观力学模型 | 第24-27页 |
| 第二节 单晶PZT薄膜的有效模量与织构的关系 | 第27-29页 |
| 第三节 单晶PZT薄膜有效模量随织构的变化趋势 | 第29-35页 |
| 第四节 多晶PZT薄膜的有效模量与织构的关系 | 第35-39页 |
| 第五节 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 XRD和电滞回线实验测量有效模量 | 第41-52页 |
| 第一节 X射线衍射法测量有效模量 | 第41-44页 |
| 第二节 电滞回线测量有效模量 | 第44-47页 |
| 第三节 有效模量与铁电性能的关系 | 第47-50页 |
| 第四节 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 反极图法测试PZT薄膜的有效模量 | 第52-71页 |
| 第一节 PZT薄膜材料的织构测试 | 第52-53页 |
| 第二节 PZT薄膜材料的极图 | 第53-64页 |
| 第三节 PZT薄膜的有效模量 | 第64-69页 |
| 第四节 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 第一节 论文总结 | 第71-72页 |
| 第二节 工作展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 攻读硕士学位期间已公开发表的论文 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 提要 | 第83-108页 |
