| 1 综述 | 第1-17页 |
| ·尘埃等离子体简介 | 第7-8页 |
| ·尘埃等离子体物理的研究进展 | 第8-11页 |
| ·尘埃等离子体中的粒子输运 | 第9-10页 |
| ·尘埃等离子体的集体特性 | 第10页 |
| ·尘埃等离子体品格 | 第10-11页 |
| ·射频等离子体壳层特性 | 第11-13页 |
| ·尘埃等离子体的基本研究方法 | 第13-16页 |
| ·理论研究方法 | 第13-14页 |
| ·尘埃等离子体的数值计算和模拟研究 | 第14-15页 |
| ·尘埃等离子体的实验研究 | 第15-16页 |
| ·本文主要介绍 | 第16-17页 |
| 2 射频等离子体 | 第17-27页 |
| ·射频等离子体简介 | 第17-20页 |
| ·容性耦合 | 第19-20页 |
| ·感性耦合 | 第20页 |
| ·射频等离子体的性质 | 第20-27页 |
| ·容性耦合射频等离子体性质 | 第20-24页 |
| ·感性耦合射频等离子体性质 | 第24-27页 |
| 3 实验设备和实验方法 | 第27-30页 |
| ·尘埃等离子体实验设备 | 第27-28页 |
| ·实验方法 | 第28-30页 |
| 4 等离子体中尘埃粒子平衡电荷量的测量 | 第30-36页 |
| ·尘埃电荷量的测量方法 | 第30-34页 |
| ·通过尘埃等离子体波的色散关系来确定尘埃颗粒电荷量 | 第31页 |
| ·通过尘埃颗粒垂直振荡测尘埃颗粒电荷量 | 第31-32页 |
| ·通过解浮置电位，计算尘埃颗粒电荷量 | 第32页 |
| ·电场偏转法 | 第32-33页 |
| ·通过尘埃颗粒的平衡位置确定尘埃颗粒电荷量 | 第33页 |
| ·通过两个尘埃颗粒对心碰撞过程中的轨迹确定尘埃颗粒电荷量 | 第33-34页 |
| ·实验结果 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 5 常温下射频等离子体法合成碳化硅膜的研究 | 第36-42页 |
| ·实验部分 | 第37页 |
| ·实验装置 | 第37页 |
| ·碳化硅膜沉积实验 | 第37页 |
| ·结果讨论 | 第37页 |
| ·结果讨论 | 第37-41页 |
| ·合成的材料分析 | 第37-41页 |
| ·机理讨论 | 第41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 6 等离子体中尘埃颗粒和尘埃空洞的研究 | 第42-55页 |
| ·实验结果的讨论 | 第43-46页 |
| ·对尘埃颗粒的研究 | 第43-44页 |
| ·对尘埃云的研究 | 第44-46页 |
| ·对尘埃空洞的研究 | 第46-53页 |
| ·研究放电参数对尘埃空洞、尘埃云形状和大小的影响 | 第46-49页 |
| ·从驱动电极侧面观察到的尘埃空洞 | 第49-52页 |
| ·空洞的旋转和振荡 | 第52-53页 |
| ·尘埃空洞的形成原因分析 | 第53-55页 |
| 7 对今后工作的改进意见 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |
| 致谢 | 第64-67页 |