分层电铸加工系统开发及其基础试验
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| ·MEMS 与微系统概论 | 第11-12页 |
| ·MEMS 与微系统 | 第11-12页 |
| ·相关应用 | 第12页 |
| ·MEMS 加工工艺 | 第12-19页 |
| ·体硅微加工 | 第12-14页 |
| ·面硅微加工 | 第14-15页 |
| ·LIGA，LIGA-like 与其他加工工艺 | 第15-18页 |
| ·加工局限性 | 第18-19页 |
| ·EFAB 工艺 | 第19-22页 |
| ·EFAB 的工艺过程 | 第19-20页 |
| ·EFAB 的突出优势 | 第20-22页 |
| ·课题来源、研究意义以及本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| ·课题来源和研究的目的及意义 | 第22-23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 微电铸技术理论 | 第24-34页 |
| ·电化学基本理论 | 第24-28页 |
| ·法拉第定律 | 第24-25页 |
| ·电极电势 | 第25页 |
| ·电级极化与极限电流密度 | 第25-27页 |
| ·金属结晶过程 | 第27-28页 |
| ·微电铸工艺 | 第28-33页 |
| ·电铸溶液成分与基底前处理 | 第28-31页 |
| ·电铸工艺的工作条件 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 分层电铸加工系统设计 | 第34-51页 |
| ·装置总体设计 | 第34-37页 |
| ·装置总体设计构想 | 第34-36页 |
| ·装置总体设计目标 | 第36-37页 |
| ·装置工作过程 | 第37页 |
| ·装置结构设计与校核 | 第37-50页 |
| ·部件结构设计 | 第37-43页 |
| ·部件选型与校核 | 第43-48页 |
| ·其他 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 分层电铸加工工艺基础试验 | 第51-62页 |
| ·本文制作工艺与传统EFAB 工艺的区别 | 第51-52页 |
| ·试验工作条件以及结果检测手段 | 第52页 |
| ·选择性电铸部分工艺改善 | 第52-59页 |
| ·不良电铸结果产生原因 | 第52-55页 |
| ·改善措施 | 第55-58页 |
| ·对比试验 | 第58-59页 |
| ·其它工艺步骤 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·论文总结 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69页 |
