MEMS视网膜芯片的设计与研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-12页
·MEMS简介	第7页
·MEMS的应用领域	第7-9页
·MEMS产业化进程中的挑战	第9页
·人造视网膜芯片	第9-11页
·本论文研究的主要内容	第11-12页
第二章 人造视网膜芯片原理	第12-21页
·视网膜与视觉	第12-13页
·人造视网膜芯片的原理和实现方案	第13-17页
·视网膜修复的一些关键问题	第17-21页
第三章 人造视网膜芯片微电极阵列的设计	第21-30页
·硅微机械加工工艺概述	第21-27页
·人造视网膜芯片微电极阵列工艺流程设计	第27-30页
第四章 Parylene衬底上Ti电极阵列的研究	第30-42页
·柔性衬底材料的选取	第30-34页
·Parylene衬底上Ti电极阵列的制备	第34-37页
·电极阵列在模拟人眼环境下的工作测试	第37-38页
·钛电极电化学腐蚀的研究	第38-42页
第五章 铂钛复合电极的制备	第42-51页
·钛基镀铂的研究	第42-45页
·中性铂黑配方的选定及其电沉积机理初探	第45-46页
·钛基镀铂黑工艺	第46-51页
结论	第51-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-55页