大尺寸工件直径光电检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| §1.1 引言 | 第8页 |
| §1.2 光电检测技术现状及发展趋势 | 第8-10页 |
| §1.3 课题来源、研究目的及意义 | 第10页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·研究目的及意义 | 第10页 |
| §1.4 大直径检测的国内外现状 | 第10-14页 |
| §1.5 本文研究的主要内容及主要技术指标 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14页 |
| ·系统主要技术指标 | 第14-15页 |
| 第二章 总体设计方案 | 第15-21页 |
| §2.1 总体设计思想 | 第15页 |
| §2.2 系统的组成与总体结构的布局 | 第15-17页 |
| ·系统的组成 | 第15-16页 |
| ·系统总体结构 | 第16-17页 |
| ·系统基本功能特点: | 第17页 |
| §2.3 系统检测原理 | 第17-21页 |
| ·工件外径与内径的检测原理 | 第17-19页 |
| ·圆度误差检测原理 | 第19-20页 |
| ·同轴度误差检测原理 | 第20-21页 |
| 第三章 光电检测系统与原理 | 第21-34页 |
| §3.1 激光三角法位移检测技术 | 第21-31页 |
| ·工作原理的理论分析 | 第21-24页 |
| ·测量系统设计 | 第24-25页 |
| ·光源及敏感器PSD的选择 | 第25-31页 |
| §3.2 光栅位移检测技术 | 第31-34页 |
| ·光栅位移检测基本原理 | 第31-34页 |
| 第四章 精密机械系统设计 | 第34-40页 |
| §4.1 精密位移电控平移台 | 第34页 |
| §4.2 精密电控旋转台 | 第34-35页 |
| §4.3 步进电机控制器 | 第35页 |
| §4.4 测杆设计 | 第35页 |
| §4.5 联接件设计 | 第35-40页 |
| 第五章 电学系统硬件设计和计算机控制 | 第40-49页 |
| §5.1 激光测头的电学控制系统 | 第40-45页 |
| ·电学系统框图 | 第40页 |
| ·PSD前置处理电路 | 第40-43页 |
| ·A/D转换电路 | 第43-45页 |
| §5.2 计算机控制与数据处理系统设计 | 第45-49页 |
| ·计算机硬件选择 | 第45页 |
| ·计算机软件设计 | 第45-49页 |
| 第六章 实验结果及误差分析 | 第49-72页 |
| §6.1 实验结果 | 第49-60页 |
| ·实验条件与实验方法 | 第49-50页 |
| ·直径检测结果 | 第50-55页 |
| ·圆度误差检测结果 | 第55-58页 |
| ·同轴度误差检测结果 | 第58-60页 |
| §6.2 系统直径检测主要误差来源及分析 | 第60-66页 |
| ·半导体激光测头精度对系统直径检测误差的影响 | 第60-62页 |
| ·光栅位移检测精度对系统直径检测误差的影响 | 第62-63页 |
| ·阿贝误差分析 | 第63-64页 |
| ·半导体激光测头不垂直偏离工件轴心引起的误差 | 第64-65页 |
| ·光栅位移检测步长对系统直径检测误差的影响 | 第65页 |
| ·系统直径检测误差的合成 | 第65-66页 |
| §6.3 系统圆度检测误差来源与分析 | 第66-68页 |
| §6.4 系统同轴度检测误差来源与分析 | 第68-70页 |
| §6.5 误差分析结论 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
