| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·气体传感器概述 | 第10-14页 |
| ·微结构气体传感的研究现状 | 第11-13页 |
| ·微结构气体传感的发展趋势 | 第13-14页 |
| ·主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 硅压阻式气体传感器的原理 | 第15-25页 |
| ·硅薄膜的敏感机理半导体的压阻效应 | 第15-20页 |
| ·压阻效应 | 第15-17页 |
| ·压阻系数 | 第17-20页 |
| ·聚合物气敏薄膜对气体分子的吸附与膨胀特性 | 第20-23页 |
| ·固体表面的吸附作用 | 第20-21页 |
| ·吸附与膨胀 | 第21-23页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器的原理 | 第23-24页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器的结构 | 第23页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器的原理分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 硅压阻式微机械气体传感器的理论模型 | 第25-40页 |
| ·传感器应力分析建模 | 第25-35页 |
| ·弹性力学薄板理论及其基本假设 | 第25-27页 |
| ·气体传感器的微分方程 | 第27-30页 |
| ·微分方程中等效横向气体载荷q的确定 | 第30-32页 |
| ·微分方程中薄板弯曲刚度系数的修正 | 第32-35页 |
| ·硅薄膜表面应力的分布 | 第35-37页 |
| ·传感器的输出 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 硅压阻式微机械气体传感器的分析与设计 | 第40-48页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器的特性分析 | 第40-45页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器的输出特性 | 第40-41页 |
| ·硅薄膜的厚度对气体传感器的影响 | 第41页 |
| ·聚合物气敏薄膜的厚度对气体传感器的影响 | 第41-42页 |
| ·气体传感器的输出与聚合物气敏薄膜和硅薄膜厚度之比的关系 | 第42-43页 |
| ·聚合物薄膜的半径对气体传感器输出的影响 | 第43-44页 |
| ·硅压阻式微机械气体传感器结构参数设置 | 第44-45页 |
| ·工艺设计 | 第45-47页 |
| ·硅薄膜的制造工艺 | 第45页 |
| ·聚合物薄膜积淀工艺 | 第45-46页 |
| ·压阻式气体传感器芯片的制造工艺设计 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 结论与展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54页 |