| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-16页 |
| ·大气压等离子体放电的研究现状 | 第5-7页 |
| ·大气等离子体作用的基本过程 | 第7-12页 |
| ·等离子体模拟的基本方法 | 第12-15页 |
| ·数值模拟目前存在的问题 | 第15页 |
| ·本论文研究的内容和目的 | 第15-16页 |
| 第二章 模型及数值计算方法 | 第16-26页 |
| ·PDEPE法 | 第16-20页 |
| ·差分法 | 第20-26页 |
| 第三章 大气压射频放电模拟 | 第26-37页 |
| ·射频放电的基本特性 | 第26-27页 |
| ·射频大气压放电特性及组成 | 第27-28页 |
| ·射频大气压放电的应用 | 第28页 |
| ·射频大气压放电的数值研究 | 第28-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第四章 大气压下单种气体射频放电基本特性的研究 | 第37-48页 |
| ·氮气射频大气压放电的基本特性 | 第37-41页 |
| ·氧气射频大气压放电的基本特性 | 第41-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第五章 HMDSO和氧气在射频大气压放电下合成氧化硅的研究 | 第48-57页 |
| ·HMDSO射频大气压放电的基本特性 | 第48页 |
| ·HMDSO和氧气射频大气压下化学反应过程 | 第48-49页 |
| ·等离子体放电参数对氧化硅沉积的影响 | 第49-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第六章 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |