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PLD制备ZnO薄膜及非晶纳米棒的结构与性质研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
致谢第8-13页
第一章 绪论第13-19页
   ·引言第13页
   ·氧化锌基本性质第13-16页
     ·氧化锌的晶体结构第13-14页
     ·ZnO 的电学性质第14-16页
     ·ZnO 的光学性质第16页
   ·氧化锌材料的研究进展及应用第16-17页
   ·本文研究内容第17-19页
第二章 ZNO 薄膜制备与实验第19-27页
   ·薄膜生长过程及制备方法第19-22页
     ·电子束蒸发第19-20页
     ·分子束外延(MBE)第20-21页
     ·磁控溅射法第21-22页
     ·溶胶-凝胶法(sol-gel)第22页
     ·薄膜氧化法第22页
   ·PLD 法制备ZNO 薄膜第22-27页
     ·脉冲激光沉积工艺简介第22-24页
     ·实验脉冲激光沉积系统第24-25页
     ·薄膜制备过程第25-27页
第三章 ZNO 薄膜的生长与表征第27-37页
   ·薄膜生长的影响因素第27-28页
   ·ZNO 薄膜的XRD 研究第28-31页
     ·XRD 实验原理第28-29页
     ·样品的XRD 测试分析第29-31页
   ·样品表面形貌的表征方法第31-37页
     ·原子力显微镜(AFM)第31-34页
     ·衬底温度对样品表面形貌的影响的AFM 研究第34-35页
     ·扫描电子显微镜(SEM)的原理第35-37页
第四章 ZNO 薄膜光学特性的研究第37-46页
   ·椭圆偏振光谱仪第37-42页
     ·椭圆偏振光谱仪简介第37页
     ·椭圆偏振光谱仪测量的基本原理第37-42页
     ·椭偏参数的拟合方法第42页
   ·CAUCHY 模型拟合椭偏参数第42-44页
   ·不同衬底温度制备ZNO 薄膜的光学常数的研究第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第五章 准一维非晶ZNO 纳米棒的研究第46-57页
   ·一维ZNO 纳米材料的生长机理及制备方法第46-48页
     ·热蒸发(thermalev aporation)第46-47页
     ·液相制备方法第47页
     ·模板法第47-48页
   ·准一维非晶ZNO 纳米棒的制备第48-53页
     ·ZnO/ZnS 薄膜的制备及表征第48-50页
     ·非晶ZnO 纳米棒的生长第50-53页
   ·准一维非晶ZNO 纳米棒光致发光的研究第53-56页
   ·本章小结第56-57页
结论第57-58页
参考文献第58-66页
攻读硕士期间发表的论文第66-67页

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