CVD金刚石膜残余应力的数值模拟

摘要	第1-7页
Abstract	第7-10页
第一章 绪论	第10-20页
·金刚石及其性能介绍	第10-13页
·金刚石膜的发展过程及其制备方法	第13-15页
·金刚石和金刚石膜性能对比	第15-17页
·本文的主要内容和研究意义	第17-20页
·金刚石膜残余应力研究的国内外现状	第17-18页
·已有研究的不足	第18-19页
·本文研究意义和研究内容	第19-20页
第二章 CVD金刚石膜中残余应力理论及计算分析	第20-32页
·金刚石膜残余应力产生的原因及影响	第20-21页
·金刚石膜残余应力的测试表征方法	第21-23页
·残余热应力的有限元法计算过程	第23-26页
·残余热应力的数值模拟	第26-32页
·数值模型相关假设	第27-29页
·数值模型的建立与介绍	第29-32页
第三章 基体温度对残余热应力的影响	第32-36页
·计算模型及边界条件	第32页
·结果分析与讨论	第32-36页
第四章 基体材料塑性变形对残余热应力的影响	第36-40页
·计算模型及边界条件	第36页
·结果分析及讨论	第36-40页
·界面处各向应力沿径向分布情况	第36-37页
·膜内不同厚度处的应力沿径向分布情况	第37-39页
·界面处各个应力分量受金刚石膜厚度尺寸的影响情况	第39-40页
第五章 基体界面拐角对残余热应力的影响	第40-46页
·计算模型及边界条件	第40页
·结果分析及讨论	第40-46页
第六章 沉积温度不均衡性对残余热应力的影响	第46-52页
·计算模型及边界条件	第46-47页
·结果分析及讨论	第47-52页
第七章 膜/基界面形貌对残余热应力的影响	第52-60页
·计算模型及边界条件	第53-54页
·结果分析及讨论	第54-60页
结论	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-67页
攻读硕士学位期间发表论文	第67页