微磨料气射流切割单晶硅冲蚀率及切割质量研究

摘要	第1-15页
ABSTRACT	第15-19页
第1章 绪论	第19-35页
·微磨料气射流加工技术概述	第19-21页
·微磨料气射流加工技术的国内外研究现状	第21-31页
·冲蚀机理分析和模型的研究现状	第21-25页
·微磨料气射流钻孔技术的研究现状	第25-26页
·微磨料气射流切割技术的研究现状	第26-28页
·微磨料气射流射流特性的研究现状	第28-30页
·微磨料气射流其他加工应用研究现状	第30-31页
·目前微磨料气射流切割技术研究中存在的问题	第31-32页
·本课题的研究目的、意义及主要研究内容	第32-35页
·本课题的研究目的和意义	第32-33页
·本课题的主要研究内容	第33-35页
第2章 微磨料气射流大角度冲蚀机理的研究	第35-56页
·微磨料气射流大角度冲蚀硅晶片实验	第35-38页
·实验装置和工作原理	第35-36页
·实验材料	第36页
·冲蚀实验参数的选择	第36-38页
·冲蚀实验方案和测量	第38页
·微磨料气射流大角度冲蚀实验观察和分析	第38-54页
·冲蚀凹坑的观察和分析	第38-39页
·单颗磨粒作用下冲蚀痕迹分类	第39-47页
·各类单颗磨粒冲蚀痕迹的整体评价	第47-51页
·裂纹扩展和晶向的关系	第51-54页
·本章小结	第54-56页
第3章 有效磨料通量效应和冲蚀率研究	第56-79页
·微磨料气射流切割单晶硅晶片实验	第56-62页
·实验装置	第56-57页
·实验材料	第57页
·微磨料气射流切割参数选择和实验方案	第57-60页
·切割轮廓测量与冲蚀率计算	第60-62页
·微磨料气射流切割加工参数对冲蚀率的影响	第62-65页
·气压对冲蚀率的影响	第62页
·磨料流量对冲蚀率的影响	第62-64页
·射流角度对冲蚀率的影响	第64-65页
·喷嘴横移速度对冲蚀率的影响	第65页
·微磨料气射流切割单晶硅冲蚀率模型	第65-76页
·不考虑有效磨料通量效应的冲蚀率模型	第67-68页
·考虑有效磨料通量效应的冲蚀率模型	第68-76页
·磨料气射流冲蚀率模型的实验验证	第76-78页
·本章小结	第78-79页
第4章 微磨料气射流切割单晶硅的切割质量研究	第79-100页
·微磨料气射流切割实验方案	第79页
·切割加工参数对切口形貌的影响	第79-84页
·微磨料气射流切口形貌特征	第79-81页
·切割加工参数对切口上边缘平整度的影响	第81-84页
·切割加工参数对切割宽度的影响	第84-90页
·射流角度对切割宽度的影响	第85-87页
·气压对切割宽度的影响	第87-88页
·磨料流量对切割宽度的影响	第88-89页
·喷嘴横移速度对切割宽度的影响	第89-90页
·切割加工参数对切割深度的影响	第90-94页
·气压对切割深度的影响	第90页
·磨料流量对切割深度的影响	第90-92页
·喷嘴横移速度对切割深度的影响	第92-93页
·射流角度对切割深度的影响	第93-94页
·切割加工参数对切口横截面轮廓形状的影响	第94-97页
·切口横截面轮廓特征	第94-95页
·工艺参数对轮廓曲线形状的影响	第95-97页
·切割加工参数对切割深宽比的影响	第97-99页
·本章小结	第99-100页
第5章 微磨料气射流切割单晶硅切割质量数学模型	第100-119页
·微磨料气射流切割宽度模型	第100-105页
·切割宽度模型的建立	第100-105页
·切割宽度模型的实验验证	第105页
·微磨料气射流切割深度模型	第105-109页
·切割深度模型的建立	第105-108页
·切割深度模型的实验验证	第108-109页
·微磨料气射流切割深宽比模型	第109-113页
·切割深宽比模型的建立	第109-113页
·切割深宽比模型的实验验证	第113页
·微磨料气射流切口横截面轮廓形状模型	第113-118页
·切口横截面轮廓形状模型的建立	第114-117页
·切口横截面轮廓形状模型的实验验证	第117-118页
·本章小结	第118-119页
结论与展望	第119-123页
论文创新点摘要	第123-124页
参考文献	第124-140页
攻读博士学位期间发表的学术论文、授权专利和奖励	第140-142页
致谢	第142-143页
附录Ⅰ 微磨料气射流大角度冲蚀实验方案	第143-145页
附录Ⅱ 学位论文评阅及答辩情况表	第145-146页
附录Ⅲ 英文论文	第146-173页