| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第8页 |
| ·研究背景与动机 | 第8-11页 |
| ·压电扭转驱动器的研究历程与现状 | 第11-15页 |
| ·本文的主要研究内容及创新之处 | 第15页 |
| ·本文组织结构和章节安排 | 第15-16页 |
| 二、压电陶瓷驱动原理 | 第16-31页 |
| ·压电效应 | 第16-17页 |
| ·压电材料性质与压电方程 | 第17-20页 |
| ·螺旋叉指电极结构的压电陶瓷圆盘扭转致动器原理及解析法分析 | 第20-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 三、压电陶瓷圆盘扭转致动器电场分布特性及扭转模态分析 | 第31-43页 |
| ·使用 Pro | 第31-32页 |
| ·使用 ANSYS 分析驱动器电场分布特性 | 第32-34页 |
| ·电场分布特性对于驱动器扭转特性的影响 | 第34-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 四、制作工艺和参数测量 | 第43-56页 |
| ·压电圆盘表面螺旋电极的加工工艺 | 第43-48页 |
| ·测试实验过程及数据分析 | 第48-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 五、总结与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |