| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 固态装配型谐振器概述 | 第8-13页 |
| 1.1.1 固态装配型谐振器概念来源 | 第8-10页 |
| 1.1.2 固态装配型谐振器主要性能 | 第10-12页 |
| 1.1.3 固态装配型谐振器主要应用 | 第12-13页 |
| 1.2 离面振动测试技术在国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.3 选题背景与论文工作 | 第16-18页 |
| 第2章 大气环境下轻敲模式离面振动测试的仿真计算 | 第18-26页 |
| 2.1 仿真基本依据 | 第18-19页 |
| 2.2 仿真测试方法 | 第19-20页 |
| 2.3 仿真结果与讨论 | 第20-26页 |
| 2.3.1 AFM悬臂梁二阶模态在激励源驱动下的振幅响应 | 第20-21页 |
| 2.3.2 AFM悬臂梁一阶模态在激励源和轻敲力作用下振幅响应 | 第21-26页 |
| 第3章 液态环境下轻敲模式离面振动测试的仿真计算 | 第26-40页 |
| 3.1 基于ANSYS有限元分析的介绍 | 第26-29页 |
| 3.1.1 有限元法的概念 | 第26-27页 |
| 3.1.2 ANSYS Workbench中流固耦合原理 | 第27-29页 |
| 3.2 仿真模型的建立及求解方法 | 第29-36页 |
| 3.2.1 几何模型的建立以及网格的划分 | 第29-31页 |
| 3.2.2 流固耦合仿真计算流程图 | 第31-32页 |
| 3.2.3 流体域的求解 | 第32-34页 |
| 3.2.4 固体域的求解 | 第34-36页 |
| 3.3 仿真结果与分析 | 第36-40页 |
| 3.3.1 AFM悬臂梁随SMR振动振幅变化的线性图 | 第36-37页 |
| 3.3.2 AFM悬臂梁随SMR振动包络频率变化的扫频图 | 第37-38页 |
| 3.3.3 AFM悬臂梁随SMR表面上方高度变化的测量幅值图 | 第38-40页 |
| 第4章 实验及结果分析 | 第40-54页 |
| 4.1 离面振动测试技术的原理与方法 | 第40-42页 |
| 4.2 大气下SMR离面振动测试结果与分析 | 第42-43页 |
| 4.3 液相下SMR离面振动测试结果与分析 | 第43-54页 |
| 4.3.1 基于AFM轻敲模式液相下SMR振动测试结果 | 第44-49页 |
| 4.3.2 基于AFM接触模式液相下SMR振动测试结果 | 第49-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
