第二代高温超导YBa2Cu3O7-x薄膜及其缓冲层薄膜的制备
摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
第一章 文献综述 | 第12-29页 |
1.1 超导材料概述 | 第12-16页 |
1.1.1 超导材料的发展 | 第12-15页 |
1.1.2 超导材料的两个特性 | 第15页 |
1.1.3 超导材料的约束条件 | 第15-16页 |
1.2 超导材料的应用 | 第16-18页 |
1.3 高温超导材料 | 第18-21页 |
1.4 实用化超导材料 | 第21-27页 |
1.4.1 MgB_2 超导材料 | 第21-22页 |
1.4.2 BSCCO超导材料 | 第22-24页 |
1.4.3 YBCO超导材料 | 第24-27页 |
1.5 本论文的研究意义与内容 | 第27-29页 |
1.5.1 研究意义 | 第27-28页 |
1.5.2 研究内容 | 第28-29页 |
第二章 薄膜的制备与测试 | 第29-41页 |
2.1 薄膜的主要制备方法 | 第29-30页 |
2.1.1 溅射法 | 第29页 |
2.1.2 金属有机沉积法 | 第29页 |
2.1.3 脉冲激光沉积 | 第29-30页 |
2.1.4 金属有机化学气相沉积法 | 第30页 |
2.2 激光化学气相沉积法 | 第30-34页 |
2.2.1 激光化学气相沉积法简介 | 第30-32页 |
2.2.2 本实验使用的LCVD装置 | 第32-34页 |
2.3 薄膜的制备 | 第34-37页 |
2.3.1 主要原材料 | 第34-35页 |
2.3.2 其它设备 | 第35页 |
2.3.3 薄膜制备过程 | 第35-37页 |
2.4 薄膜测试方法 | 第37-41页 |
2.4.1 X射线衍射 | 第37-38页 |
2.4.2 场发射扫描电子显微镜 | 第38页 |
2.4.3 电感耦合等离子质谱仪 | 第38页 |
2.4.4 薄膜电学性能测试 | 第38-41页 |
第三章 激光化学气相沉积法制备CeO_2 缓冲层 | 第41-56页 |
3.1 引言 | 第41页 |
3.2 实验过程 | 第41-42页 |
3.3 结果与讨论 | 第42-54页 |
3.3.1 CeO_2 薄膜物相分析 | 第43-45页 |
3.3.2 CeO_2 薄膜结晶度分析 | 第45-47页 |
3.3.3 CeO_2 薄膜面内取向分析 | 第47-51页 |
3.3.4 CeO_2 薄膜微观结构 | 第51-53页 |
3.3.5 不同基板对比 | 第53-54页 |
3.4 本章小结 | 第54-56页 |
第四章 激光化学气相沉积法制备YBCO超导层 | 第56-70页 |
4.1 引言 | 第56页 |
4.2 实验过程 | 第56-58页 |
4.3 结果与讨论 | 第58-69页 |
4.3.1 YBCO薄膜物相分析 | 第59-60页 |
4.3.2 YBCO薄膜极图分析 | 第60-63页 |
4.3.3 YBCO薄膜结晶度和面内取向分析 | 第63-64页 |
4.3.4 YBCO薄膜微观结构 | 第64-66页 |
4.3.5 YBCO薄膜电学性能 | 第66-67页 |
4.3.6 YBCO薄膜组分 | 第67-69页 |
4.4 本章小结 | 第69-70页 |
第五章 结论与展望 | 第70-72页 |
5.1 结论 | 第70-71页 |
5.2 展望 | 第71-72页 |
参考文献 | 第72-79页 |
攻读硕士期间发表的论文与专利 | 第79-80页 |
(一)攻读硕士期间发表的论文 | 第79页 |
(二)攻读硕士期间发表的专利 | 第79-80页 |
致谢 | 第80页 |