| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 表面织构加工技术及研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 激光微细加工技术 | 第12页 |
| 1.2.2 微磨料气射流加工技术 | 第12-13页 |
| 1.2.3 微细铣削加工技术 | 第13页 |
| 1.2.4 复合LIGA技术 | 第13页 |
| 1.2.5 微细电火花加工技术 | 第13-14页 |
| 1.3 微细电解加工技术及研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 掩膜微细电解加工技术 | 第14-15页 |
| 1.3.2 微细电解铣削加工技术 | 第15-16页 |
| 1.3.3 微细电解液射流加工技术 | 第16-17页 |
| 1.4 课题的提出及主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 课题来源及研究意义 | 第17页 |
| 1.4.2 课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 气膜屏蔽微细电解加工原理 | 第19-31页 |
| 2.1 微细电解加工原理 | 第19-24页 |
| 2.1.1 法拉第定律和电流效率 | 第20-21页 |
| 2.1.2 电极电位 | 第21-22页 |
| 2.1.3 加工间隙中的流/电场特性 | 第22-24页 |
| 2.2 射流分类与概述 | 第24-26页 |
| 2.2.1 圆形轴对称冲击射流 | 第24-25页 |
| 2.2.2 同轴环形射流 | 第25-26页 |
| 2.3 气膜屏蔽微细电解加工原理 | 第26-30页 |
| 2.3.1 间隙流场特性 | 第26-29页 |
| 2.3.2 间隙电场特性 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 气膜屏蔽阵列微细电解加工流场仿真研究 | 第31-53页 |
| 3.1 FLUENT简介 | 第31-34页 |
| 3.1.1 FLUENT求解 | 第31-32页 |
| 3.1.2 湍流模型 | 第32-34页 |
| 3.2 1×3线性阵列喷头流场仿真设计与结果分析 | 第34-46页 |
| 3.2.1 1×3线性阵列喷头流场仿真设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 单出口喷头外部流场仿真 | 第35-40页 |
| 3.2.3 1×3线性阵列喷头外部流场仿真 | 第40-43页 |
| 3.2.4 1×3线性阵列喷头内部流场仿真 | 第43-46页 |
| 3.3 缝状阵列喷头流场仿真设计与结果分析 | 第46-51页 |
| 3.3.1 缝状阵列喷头外部流场仿真 | 第46-49页 |
| 3.3.2 缝状阵列喷头内部流场仿真 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 阵列凹坑气膜屏蔽微细电解加工工艺实验 | 第53-79页 |
| 4.1 气膜屏蔽微细电解加工实验系统 | 第53-55页 |
| 4.2 气膜屏蔽微细1×3阵列电解加工基础实验研究 | 第55-61页 |
| 4.2.1 1×3线性阵列组合电极 | 第55-57页 |
| 4.2.2 1×3阵列电解加工实验设计 | 第57-58页 |
| 4.2.3 1×3阵列电解加工实验结果与分析 | 第58-61页 |
| 4.3 不同加工参数对气膜屏蔽微细1×3线性阵列电解加工的影响 | 第61-74页 |
| 4.3.1 液体速度对阵列凹坑尺寸的影响 | 第62-64页 |
| 4.3.2 气体速度对阵列凹坑尺寸的影响 | 第64-66页 |
| 4.3.3 加工电压对阵列凹坑尺寸的影响 | 第66-68页 |
| 4.3.4 进给速度对阵列凹坑尺寸的影响 | 第68-71页 |
| 4.3.5 脉冲宽度对阵列凹坑尺寸的影响 | 第71-74页 |
| 4.4 基于优化参数的气膜屏蔽多排阵列工具阴极微细电解加工实验研究 | 第74-78页 |
| 4.4.1 片状阵列组合电极 | 第74-75页 |
| 4.4.2 气膜屏蔽多排阵列工具阴极微细电解加工实验设计 | 第75-76页 |
| 4.4.3 气膜屏蔽多排阵列工具阴极微细电解加工实验结果与分析 | 第76-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 基于支持向量机的工艺参数优化研究 | 第79-91页 |
| 5.1 支持向量机理论基础 | 第79-84页 |
| 5.1.1 支持向量机基本思想 | 第79-80页 |
| 5.1.2 支持向量回归机理论 | 第80-83页 |
| 5.1.3 核函数选择与MSVR预测模型 | 第83-84页 |
| 5.2 支持向量机理论在凹坑锥度预测中的应用 | 第84-89页 |
| 5.2.1 基于LIBSVM软件的数据处理 | 第84-87页 |
| 5.2.2 支持向量回归机预测结果与实验验证 | 第87-89页 |
| 5.3 本章小结 | 第89-91页 |
| 第6章 结论及展望 | 第91-93页 |
| 6.1 结论 | 第91-92页 |
| 6.2 创新点 | 第92页 |
| 6.3 展望 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第99页 |
