| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 论文背景与研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 高温声表面波器件的研究进展 | 第13-29页 |
| 1.2.1 声表面波器件的工作原理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 高温声表面波器件压电衬底 | 第14-17页 |
| 1.2.3 高温声表面波器件电极 | 第17-29页 |
| 1.3 论文的选题依据 | 第29-30页 |
| 1.4 本论文工作安排 | 第30-31页 |
| 第二章 实验原理与方法 | 第31-45页 |
| 2.1 声表面波器件电极的制备方法 | 第31-33页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积与激光分子束外延 | 第31-32页 |
| 2.1.2 反射式高能电子衍射原理 | 第32-33页 |
| 2.2 薄膜电极的结构分析方法 | 第33-41页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析 | 第33-35页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜分析 | 第35-36页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜分析 | 第36-37页 |
| 2.2.4 电子探针显微镜分析 | 第37-38页 |
| 2.2.5 X射线光电子能谱分析 | 第38-39页 |
| 2.2.6 ImageJ软件图像处理 | 第39-41页 |
| 2.3 电学性能测试 | 第41-44页 |
| 2.3.1 加热工具 | 第41页 |
| 2.3.2 高温电阻的实时测试方法 | 第41-43页 |
| 2.3.3 声表面波器件的制备工艺 | 第43-44页 |
| 2.3.4 声表面波器件的测试方法 | 第44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 微观结构对Pt电极高温导电性能的影响 | 第45-76页 |
| 3.1 Pt材料的温度特性 | 第45-46页 |
| 3.2 沉积温度对Pt电极高温特性的影响 | 第46-53页 |
| 3.2.1 Pt/LGS样品的制备 | 第46-47页 |
| 3.2.2 高温下Pt电极导电性能 | 第47-49页 |
| 3.2.3 高温处理后Pt电极微观结构 | 第49-53页 |
| 3.3 ZnO缓冲层对Pt电极高温特性的影响 | 第53-63页 |
| 3.3.1 ZnO缓冲层的厚度影响 | 第55-57页 |
| 3.3.2 Pt/ZnO/LGS电极的微观结构 | 第57-60页 |
| 3.3.3 Pt/ZnO/LGS电极的高温导电特性 | 第60-63页 |
| 3.4 Al_2O_3势垒层对Pt/ZnO电极高温特性的影响 | 第63-69页 |
| 3.4.1 Al_2O_3势垒层的阻挡扩散作用 | 第63-64页 |
| 3.4.2 Pt/ZnO/Al_2O_3/LGS电极的微观结构 | 第64-66页 |
| 3.4.3 Pt/ZnO/Al_2O_3/LGS电极的高温导电特性 | 第66-69页 |
| 3.5 SAW器件的高温稳定性研究 | 第69-74页 |
| 3.5.1 1000℃退火后器件性能 | 第70-73页 |
| 3.5.2 1100℃退火后器件性能 | 第73-74页 |
| 3.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 第四章 保护层对Pt/ZnO/Al_2O_3电极高温导电特性的影响 | 第76-94页 |
| 4.1 保护层对金属电极高温导电稳定性的影响机理 | 第76-77页 |
| 4.2 AlN保护层的作用 | 第77-83页 |
| 4.2.1 AlN保护层厚度对Pt/ZnO/Al_2O_3电极高温特性的影响 | 第77-81页 |
| 4.2.2 160nmAlN保护层对Pt/ZnO/Al_2O_3电极高温特性的影响 | 第81-83页 |
| 4.3 Al_2O_3保护层作用介绍 | 第83-90页 |
| 4.3.1 Al_2O_3保护层厚度对Pt/ZnO/Al_2O_3电极高温特性的影响 | 第83-87页 |
| 4.3.2 160nmAl_2O_3保护层对Pt/ZnO/Al_2O_3电极高温特性的影响 | 第87-90页 |
| 4.4 SAW器件的高温稳定性研究 | 第90-93页 |
| 4.4.1 1000℃退火后器件性能 | 第90-91页 |
| 4.4.2 1100℃退火后器件性能 | 第91-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 第五章 ITO/Pt复合薄膜电极的高温导电特性 | 第94-117页 |
| 5.1 理论模型分析 | 第94-96页 |
| 5.1.1 逾渗理论模型介绍 | 第94-95页 |
| 5.1.2 高温结块模型与传统逾渗理论模型差异 | 第95-96页 |
| 5.2 ITO薄膜高温下的导电性能与微观结构变化 | 第96-106页 |
| 5.2.1 升温阶段 | 第96-100页 |
| 5.2.2 保温阶段 | 第100-106页 |
| 5.3 ITO/Pt复合薄膜电极的高温特性 | 第106-112页 |
| 5.3.1 ITO/Pt复合导电薄膜的制备 | 第106页 |
| 5.3.2 Pt电极在高温下的微观结构及电学性能变化 | 第106-108页 |
| 5.3.3 ITO/Pt电极在高温下的微观结构及电学性能变化 | 第108-112页 |
| 5.4 SAW器件的高温稳定性研究 | 第112-115页 |
| 5.4.1 1000℃退火后器件性能 | 第113-114页 |
| 5.4.2 1100℃退火后器件性能 | 第114-115页 |
| 5.5 本章小结 | 第115-117页 |
| 第六章 结论 | 第117-120页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第117-118页 |
| 6.2 主要创新点 | 第118页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-129页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第129页 |
