| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-20页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 材料表面处理技术 | 第15-16页 |
| 1.2.1 表面处理技术的发展 | 第15页 |
| 1.2.2 薄膜的发展 | 第15-16页 |
| 1.3 常见薄膜的制备及应用 | 第16-17页 |
| 1.4 薄膜的研究概况 | 第17-18页 |
| 1.4.1 纳米薄膜的致硬机理 | 第17页 |
| 1.4.2 纳米多层膜概述 | 第17-18页 |
| 1.5 选题意义与研究内容 | 第18-20页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第18-19页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 薄膜的制备工艺与表征设备 | 第20-26页 |
| 2.1 薄膜的制备工艺 | 第20-22页 |
| 2.1.1 薄膜制备的基本原理 | 第20页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第20-21页 |
| 2.1.3 制备工艺 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜性能的测试设备 | 第22-26页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪(XRD) | 第22-23页 |
| 2.2.2 纳米压痕仪 | 第23-24页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第24页 |
| 2.2.4 激光共聚焦扫描显微镜 | 第24页 |
| 2.2.5 能谱仪(EDS) | 第24-25页 |
| 2.2.6 高温摩擦磨损实验仪 | 第25页 |
| 2.2.7 探针式三维形貌仪 | 第25-26页 |
| 第3章 Ag含量对WNbN-Ag复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响 | 第26-42页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 薄膜制备及表征 | 第26-28页 |
| 3.2.1 复合膜的制备 | 第26-27页 |
| 3.2.2 复合膜的表征 | 第27-28页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第28-41页 |
| 3.3.1 WNbN-Ag复合膜的元素组成与微结构 | 第28-32页 |
| 3.3.2 WNbN-Ag复合膜的沉积速率和力学性能 | 第32-34页 |
| 3.3.3 WNbN-Ag复合膜的常温摩擦性能 | 第34-37页 |
| 3.3.4 WNbN-Ag复合膜的高温摩擦性能 | 第37-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 Ag含量对NbN-Ag复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响 | 第42-59页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 薄膜制备与表征 | 第42-44页 |
| 4.2.1 NbN-Ag复合膜的制备 | 第42-43页 |
| 4.2.2 NbN-Ag复合膜的表征 | 第43-44页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第44-58页 |
| 4.3.1 NbN-Ag复合膜的微结构 | 第44-50页 |
| 4.3.2 NbN-Ag复合膜的表面形貌 | 第50-51页 |
| 4.3.3 NbN-Ag复合膜的力学性能 | 第51-52页 |
| 4.3.4 NbN-Ag复合膜的室温摩擦性能 | 第52-54页 |
| 4.3.5 NbN-Ag复合膜的高温摩擦性能 | 第54-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 Ag含量对VCN-Ag复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响 | 第59-74页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 薄膜制备与表征 | 第59-61页 |
| 5.2.1 复合膜的制备 | 第59-60页 |
| 5.2.2 复合膜的表征 | 第60-61页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第61-72页 |
| 5.3.1 VCN-Ag复合膜的组成与微结构 | 第61-62页 |
| 5.3.2 VCN-Ag复合膜的沉积速率和力学性能 | 第62-66页 |
| 5.3.3 VCN-Ag复合膜的常温摩擦性能 | 第66-69页 |
| 5.3.4 VCN-Ag复合膜的中温摩擦磨损性能 | 第69-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
