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超分辨激光差动共焦微孔测量技术研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-19页
    1.1 研究背景及意义第10-11页
    1.2 微孔直径测量技术研究现状第11-17页
        1.2.1 直接测量法第11-16页
        1.2.2 间接测量第16-17页
    1.3 超分辨激光差动共焦微孔直径测量技术第17-18页
    1.4 本课题主要研究内容第18-19页
第2章 激光差动共焦显微成像理论研究第19-29页
    2.1 引言第19页
    2.2 激光共焦显微成像原理第19-24页
        2.2.1 共焦系统的横向响应特性第20-22页
        2.2.2 共焦系统的轴向响应特性第22-24页
    2.3 激光差动共焦显微成像原理第24-27页
    2.4 微孔差动共焦成像数学模型第27-28页
    2.5 本章小结第28-29页
第3章 超分辨图像复原与圆孔边缘判定第29-35页
    3.1 引言第29页
    3.2 MPMLE图像复原算法第29-32页
        3.2.1 PMLE算法第30-31页
        3.2.2 MPMLE算法第31-32页
    3.3 圆孔边缘判据第32-34页
    3.4 本章小结第34-35页
第4章 激光差动共焦传感器设计第35-46页
    4.1 引言第35页
    4.2 激光差动共焦传感器光路设计第35-39页
        4.2.1 激光扫描光路设计第36-37页
        4.2.2 显微成像光路设计第37-39页
    4.3 激光差动共焦传感器机械结构设计第39-45页
        4.3.1 通用底座设计第39-40页
        4.3.2 可调分光平片设计第40-41页
        4.3.3 物镜透镜两用可调设计第41页
        4.3.4 可调棱镜座设计第41-42页
        4.3.5 白光光源设计第42-45页
    4.4 本章小结第45-46页
第5章 实验第46-55页
    5.1 引言第46页
    5.2 实验装置第46-47页
    5.3 操作过程第47-49页
        5.3.1 普通显微成像观察第47-48页
        5.3.2 激光扫描成像第48-49页
    5.4 数据处理第49-54页
    5.5 本章小结第54-55页
结论第55-56页
参考文献第56-60页
致谢第60页

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