超分辨激光差动共焦微孔测量技术研究
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-19页 |
1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
1.2 微孔直径测量技术研究现状 | 第11-17页 |
1.2.1 直接测量法 | 第11-16页 |
1.2.2 间接测量 | 第16-17页 |
1.3 超分辨激光差动共焦微孔直径测量技术 | 第17-18页 |
1.4 本课题主要研究内容 | 第18-19页 |
第2章 激光差动共焦显微成像理论研究 | 第19-29页 |
2.1 引言 | 第19页 |
2.2 激光共焦显微成像原理 | 第19-24页 |
2.2.1 共焦系统的横向响应特性 | 第20-22页 |
2.2.2 共焦系统的轴向响应特性 | 第22-24页 |
2.3 激光差动共焦显微成像原理 | 第24-27页 |
2.4 微孔差动共焦成像数学模型 | 第27-28页 |
2.5 本章小结 | 第28-29页 |
第3章 超分辨图像复原与圆孔边缘判定 | 第29-35页 |
3.1 引言 | 第29页 |
3.2 MPMLE图像复原算法 | 第29-32页 |
3.2.1 PMLE算法 | 第30-31页 |
3.2.2 MPMLE算法 | 第31-32页 |
3.3 圆孔边缘判据 | 第32-34页 |
3.4 本章小结 | 第34-35页 |
第4章 激光差动共焦传感器设计 | 第35-46页 |
4.1 引言 | 第35页 |
4.2 激光差动共焦传感器光路设计 | 第35-39页 |
4.2.1 激光扫描光路设计 | 第36-37页 |
4.2.2 显微成像光路设计 | 第37-39页 |
4.3 激光差动共焦传感器机械结构设计 | 第39-45页 |
4.3.1 通用底座设计 | 第39-40页 |
4.3.2 可调分光平片设计 | 第40-41页 |
4.3.3 物镜透镜两用可调设计 | 第41页 |
4.3.4 可调棱镜座设计 | 第41-42页 |
4.3.5 白光光源设计 | 第42-45页 |
4.4 本章小结 | 第45-46页 |
第5章 实验 | 第46-55页 |
5.1 引言 | 第46页 |
5.2 实验装置 | 第46-47页 |
5.3 操作过程 | 第47-49页 |
5.3.1 普通显微成像观察 | 第47-48页 |
5.3.2 激光扫描成像 | 第48-49页 |
5.4 数据处理 | 第49-54页 |
5.5 本章小结 | 第54-55页 |
结论 | 第55-56页 |
参考文献 | 第56-60页 |
致谢 | 第60页 |